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J-GLOBAL ID：201702241262014142   整理番号：17A0314628

音響顕微鏡を用いたマイクロスケール周期構造の形状の特性評価【Powered by NICT】

Characterization of the geometry of microscale periodic structures using acoustic microscopy

著者 (4件)： Shaw Anurupa (Georgia Institute of Technology, UMI Georgia Tech - CNRS 2958, George W. Woodruff School of Mechanical Engineering, Georgia Tech Lorraine, 2 Rue Marconi, 57070 Metz, France) ,  Liu Jingfei (Georgia Institute of Technology, UMI Georgia Tech - CNRS 2958, George W. Woodruff School of Mechanical Engineering, Georgia Tech Lorraine, 2 Rue Marconi, 57070 Metz, France) ,  Yoon Suk Wang (Sungkyunkwan University, 2066 Seoboo-ro, Jangan-ku, Suwon 16419, Republic of Korea) ,  Declercq Nico F. (Georgia Institute of Technology, UMI Georgia Tech - CNRS 2958, George W. Woodruff School of Mechanical Engineering, Georgia Tech Lorraine, 2 Rue Marconi, 57070 Metz, France)
資料名： Ultrasonics  (Ultrasonics)
巻： 70  ページ： 258-265  発行年： 2016年08月 
JST資料番号： C0379B  ISSN： 0041-624X  CODEN： ULTRA3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 周期構造は科学的研究と工学的応用の両方で非常に一般的である。周期構造の形状はその設計機能のために重要である。光学および電子顕微鏡のような方法であるマイクロスケール周期的波形構造の周期性を測定できるが,コルゲーションの高さまたは深さを測定するために使用することができない。音響顕微鏡技術は急速に発展している,鋼集積構造,強弾性セラミックス,ヒト網膜,半導体,複合材料などの研究に適用した。超音波顕微鏡では,V(z)曲線は,複合材料,動物組織などの薄いスライス試料の粘弾性パラメータを調査するために使用されているが,本研究では,周期的にコルゲートした構造の形状を特徴づけるに適用した。音響顕微鏡を用いて得られた周期構造の形状の測定は,光学顕微鏡を用いて得られたものと比較し,この音響技術の信頼性についても検討した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 強弾性 ,  *周期構造 ,  粘弾性 ,  複合材料 ,  高速度 ,  ヒト ,  *キャラクタリゼーション ,  超音波 ,  超音波顕微鏡 ,  *音響顕微鏡 ,  *音響 ,  網膜 ,  動物組織
準シソーラス用語： 周期性 ,  *マイクロスケール , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 非破壊試験 ,  超音波 ,  超音波顕微鏡 ,  V(z)曲線 ,  周期構造 ,  波形

分類 (1件)： 音波伝搬  (BB03030G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 音響顕微鏡 ,  マイクロスケール ,  周期構造 ,  特性評価