文献

J-GLOBAL ID：201702241887347897   整理番号：17A0132723

アザシラン,無水マレイン酸,トリメチルアルミニウム,水を循環的に使用する分子層堆積法

Molecular layer deposition using cyclic azasilanes, maleic anhydride, trimethylaluminum, and water

著者 (4件)： Ju Ling (Department of Materials Science and Engineering and Center for Advanced Materials and Nanotechnology, Lehigh University, Bethlehem, Pennsylvania 18015) ,  Bao Bo (Department of Materials Science and Engineering and Center for Advanced Materials and Nanotechnology, Lehigh University, Bethlehem, Pennsylvania 18015) ,  King Sean W. (Intel Corporation, Hillsboro, Oregon 97124) ,  Strandwitz Nicholas C. (Department of Materials Science and Engineering and Center for Advanced Materials and Nanotechnology, Lehigh University, Bethlehem, Pennsylvania 18015)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 35  号： 1  ページ： 01B136-01B136-8  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 分子層堆積法(MLD)は,2ステップもしくはそれ以上の自己律速表面化学反応に基づいて,有機-無機ハイブリッド薄膜の形成に用いられる。N-(2-アミノエチル)-2,2,4-トリメチル-1-アザ-2-シラシクロペンタン(AZ),無水マレイン酸(MA),トリメチルアルミニウム,H₂Oを用いた4ステップのABCD系列,および,AZ,MA,H₂Oで構成される3ステップのABC系列が,有機-無機ハイブリッド薄膜の形成に関して報告されている。ABCD系列では,100°Cで3.5Å/cyceの一定の成長速度の自己律速挙動を示すが,一方,ABC系列の成長速度は約50サイクル後に90Å/cyceまで増加する。ABC化学反応による成長速度は,表面反応のみを考慮したMLD/ALD化学反応よりはるかに大きく,基板温度に強く依存する。堆積したままの状態のフーリエ変換赤外測定によると,ABC薄膜中の-COOHの官能化が示され,反応機構の確証が得られる。結果は,MLD薄膜中への前駆体の拡散が,大きな成長速度に重要な役割を果たしていることを示す。密度,表面粗度,比誘電率(κ)を,堆積したままの状態と400°Cの温度で大気中処理した後とについて報告する。密度が<1g/cm³でκ<3の,作製直後の状態および熱処理を施したABC薄膜は,多孔質で低κの薄膜を必要とする用途に役に立つ。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  水 ,  脂環式炭化水素 ,  *ハイブリッド複合材料 ,  *蒸着膜 ,  *成長速度 ,  カルボン酸塩 ,  アルミニウム化合物 ,  *有機ケイ素化合物 ,  *アミン ,  *表面反応 ,  赤外吸収スペクトル ,  温度依存性 ,  偏光解析法 ,  *カルボニル化合物 ,  酸素複素環化合物 ,  脂肪族カルボン酸 ,  オレフィン化合物 ,  不飽和カルボン酸 ,  カルボン酸無水物 ,  ジカルボン酸
準シソーラス用語： FTIRスペクトル ,  アミド【有機化合物】 ,  シクロペンタン誘導体 ,  *分子層堆積 ,  偏光解析分光法 ,  *有機無機ハイブリッド複合材料

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

物質索引 (4件)： トリメチルアルミニウム ,  無水マレイン酸 ,  [4-[2-[3-(ジメチルシリル)-2-メチルプロピルアミノ]エチルアミノ]-1,4-ジオキソ-2-ブテニルオキシ]ジヒドロキシアルミニウム ,  2-ブテン二酸1-[[3-[3-カルボキシプロペノイル[2-[(3-カルボキシプロペノイル)アミノ]エチル]アミノ]-2-メチルプロピル]ジメチルシリル]

タイトルに関連する用語 (6件)： シラン ,  無水マレイン酸 ,  トリメチルアルミニウム ,  水 ,  分子 ,  堆積