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J-GLOBAL ID：201702242004011319   整理番号：17A0369780

Ta/Mo/CoFeB/MgO/Ta膜の磁気的性質と微細構造に及ぼす焼なましの影響【Powered by NICT】

Effects of annealing on the magnetic properties and microstructures of Ta/Mo/CoFeB/MgO/Ta films

著者 (10件)： Li Minghua (Department of Material Physics and Chemistry, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, People’s Republic of China) ,  Li Minghua (Department of Electrical Engineering, University of California, Los Angeles, CA 90095, USA) ,  Shi Hui (Department of Material Physics and Chemistry, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, People’s Republic of China) ,  Yu Guoqiang (Department of Electrical Engineering, University of California, Los Angeles, CA 90095, USA) ,  Lu Jinhui (Department of Material Physics and Chemistry, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, People’s Republic of China) ,  Chen Xi (Department of Material Physics and Chemistry, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, People’s Republic of China) ,  Han Gang (Department of Material Physics and Chemistry, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, People’s Republic of China) ,  Yu Guanghua (Department of Material Physics and Chemistry, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, People’s Republic of China) ,  Amiri Pedram Khalili (Department of Electrical Engineering, University of California, Los Angeles, CA 90095, USA) ,  Wang Kang L. (Department of Electrical Engineering, University of California, Los Angeles, CA 90095, USA)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 692  ページ： 243-248  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 時間を変えて350°CでアニールしたTa/Mo/CoFeB/MgO/Ta接合における垂直磁気異方性(PMA)の進化に関する研究を報告する。PMAは,短いアニーリング時間とそれに続く飽和へのゆっくりした接近後迅速に開発した。PMAのこの発展は,構造変化を伴っていた。表面粗さ(q)は,アニーリング時間の増加とともに増加し,30分まで徐々に;アニーリング時間の更なる増加R qの劇的な増加をもたらした。堆積Ta/Mo/CoFeB/MgO/Ta膜とアニールした膜の磁気異方性に及ぼす膜の組成と化学状態の影響を調べた。X線光電子分光法の結果は,堆積したままの試料,PMAを得るために重要であるのと比較して焼なましの1分後にCoFeB/MgO界面で形成されたより多くのFe酸化物ことを実証した。高分解能透過型電子顕微鏡分析は,CoFeBとMgO層は試料堆積したままと1分後のアニーリングにおけるは主に非晶質であることを明らかにした。しかし,CoFeBとMgO層は30~60分のアニーリング後の試料であり,高いPMAを得るために有益で結晶化した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 酸化鉄 ,  垂直磁気異方性 ,  X線光電子分光法 ,  *磁気的性質 ,  *酸化マグネシウム ,  微細構造 ,  非晶質 ,  磁気異方性 ,  界面 ,  *焼なまし ,  結晶化
準シソーラス用語： HRTEM ,  化学状態 ,  構造変化 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： アニーリング ,  垂直磁気異方性(PMA) ,  X線光電子分光法(XPS) ,  高分解能透過電子顕微鏡(HRTEM) ,  酸素移動

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (7件)： Ta ,  Mo ,  MgO ,  Ta膜 ,  磁気的性質 ,  微細構造 ,  焼なまし