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J-GLOBAL ID：201702242149141129   整理番号：17A0401064

交差指形電極により影響を受けた薄膜バルク音響波フィルタにおける長い厚み波【Powered by NICT】

Long thickness-extensional waves in thin film bulk acoustic wave filters affected by interdigital electrodes

著者 (6件)： Liu Jing (Piezoelectric Device Laboratory, School of Mechanical Engineering and Mechanics, Ningbo University, Ningbo, Zhejiang 315211, China) ,  Liu Jing (School of Mechanical and Electrical Engineering, Ningbo Dahongying University, Ningbo, Zhejiang 315175, China) ,  Du Jianke (Piezoelectric Device Laboratory, School of Mechanical Engineering and Mechanics, Ningbo University, Ningbo, Zhejiang 315211, China) ,  Wang Ji (Piezoelectric Device Laboratory, School of Mechanical Engineering and Mechanics, Ningbo University, Ningbo, Zhejiang 315211, China) ,  Yang Jiashi (Piezoelectric Device Laboratory, School of Mechanical Engineering and Mechanics, Ningbo University, Ningbo, Zhejiang 315211, China) ,  Yang Jiashi (Department of Mechanical and Materials Engineering, The University of Nebraska-Lincoln, Lincoln, NE 68588-0526, USA)
資料名： Ultrasonics  (Ultrasonics)
巻： 75  ページ： 226-232  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0379B  ISSN： 0041-624X  CODEN： ULTRA3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TierstenおよびStevensによるスカラー微分方程式を用いて理論的に交差指形電極を用いた薄膜バルク音響波フィルタの自由振動を研究した。フィルタは基底状態と駆動電極をもつSi基板上のAlNまたはZnO膜から作られる。厚みモードで動作する。共鳴振動数とモード形状を含む基本的な振動特性が得られた。種々の幾何学的パラメータへの依存性を検討した。適切に設計フィルタは電極端から離れ,その振動は駆動電極と崩壊領域で強いトラップされたモードが存在することが分かった。これらのトラップされたモードは,電極指によって変調された長い板厚みモードを本質的にした。トラップされたモードの数は幾何学的パラメータに敏感であった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 微分方程式 ,  窒化アルミニウム ,  *フィルタ ,  自由振動 ,  酸化亜鉛 ,  基底状態 ,  スカラー ,  *薄膜 ,  共振周波数
準シソーラス用語： 幾何学的パラメータ ,  振動特性 ,  振動モード形 ,  厚みモード ,  シリコンウエハ ,  *バルク音響波 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 波 ,  振動 ,  圧電

分類 (3件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  共振器  (NC04050Y) ,  フィルタ一般  (NC04021I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 交差 ,  指 ,  薄膜 ,  バルク音響波 ,  厚み