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J-GLOBAL ID：201702242201253328   整理番号：17A0381550

アルミニウムをドープしたZnO電極を用いた透明ZnO/ガラス弾性表面波素子【Powered by NICT】

Transparent ZNO/glass surface acoustic wave devices with aluminum doped ZNO electrode

著者 (7件)： Zhou Jian (National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Wu Xuezhong (National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Xiao Dingbang (National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Jin Hao (Zhejiang University, Hangzhou, China) ,  Dong Shurong (Zhejiang University, Hangzhou, China) ,  Fu Yongqing (University of Northumbria, Newcastle upon Tyne, UK) ,  Luo Jikui (Zhejiang University, Hangzhou, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 691-695  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,透明電極としてAZOを用いた透明SAW共振器の作製を報告した。透明SAW共振器は二種類の波モードを示した:RayleighおよびSezawa波と,80%以上の透明度で得られた25dBまで信号振幅。透明SAW素子の性能に及ぼすAZO膜電極の直列抵抗効果を系統的に研究し,その結果は,直列抵抗は10Ω/sqより低くなければならないことを示した。温度センシングは透明SAWデバイスは~45ppm/Kの周波数の温度係数を持つことを示した。透明デバイスは,2.27cm/sまでの流速と強い音響流を誘導するそれらの能力を実証した。本研究では,透明なマイクロフルイディクスとセンサのような透明エレクトロニクスにおけるSAWデバイスのさらなる探索への扉を開いた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電子技術 ,  透明度 ,  *アルミニウム ,  *弾性表面波素子 ,  マイクロフルイディクス ,  膜電極 ,  *ドーピング ,  温度係数 ,  透明電極 ,  *酸化亜鉛 ,  流速
準シソーラス用語： 音響流 ,  温度センシング ,  直列抵抗 ,  SAW共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (5件)： アルミニウム ,  ドープ ,  ZnO ,  ガラス ,  弾性表面波素子