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J-GLOBAL ID：201702242213604908   整理番号：17A0368653

低周波振動モニタリングのための統合的強度変調光エンコーダとパターン化された重ね板ばねを用いた加速度計【Powered by NICT】

An accelerometer with integrative intensity-modulated optical encoder and patterned leaf spring for low-frequency vibration monitoring

著者 (9件)： Liu Hongzhong (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Yu Haoyu (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Jiang Weitao (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Li Xuan (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Fan Shanjin (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Lei Biao (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Shi Yongsheng (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Yin Lei (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Chen Bangdao (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 251  ページ： 75-83  発行年： 2016年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,強度変調リニアエンコーダとパターン化した板ばねを統合した新しい構成と小サイズ(28×24×22mm~3)を用いた高速光学加速度計の開発である。一般に,センサは強い適用性を有し,単純化したレイアウトと低コストを維持した。高分解能,大きな設置耐性,および低クロストークは,Talbot効果に基づく20μmピッチ光エンコーダを用いて達成した。さらに,大きな測定範囲,高固有振動数,および適切な感度は湿式エッチングによるベリリウム銅により作られた特別設計パターン化されたリーフスプリングを採用することによりセンサにおいて固有のものである。理論とFEM(有限要素モデル化)分析の両方は,設計を最適化し,その結果は測定範囲,分解能とセンサの感度は±160g,5mg,110mV/gであることが判明した方式を検証した。開発した光学加速度計が1.9%の誤差範囲で0~32Hzの低周波振動を監視するための適切なと0.7%クロストークは実験的試験により実証した。価格と性能間の矛盾を解決するための潜在的な解決策を提供する,それは光学型加速度計の使用を普及に役立つ可能性がある。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ウェットエッチング ,  *パターン形成 ,  分解能 ,  クロストーク ,  *板ばね ,  高速度 ,  *符号器 ,  *加速度計 ,  固有振動数 ,  センサ ,  最適化 ,  高分解能 ,  *LF【周波数】
準シソーラス用語： Talbot効果 ,  *強度変調 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 光加速度計 ,  光エンコーダ ,  葉ばね

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 低周波振動 ,  モニタリング ,  統合 ,  強度変調 ,  エンコーダ ,  重ね板ばね ,  加速度計