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J-GLOBAL ID：201702242498675036   整理番号：17A0540126

半導体製造の常識を変える!クリーンルームなしで1個からのデバイス製造も可能にする「ミニマルファブ」

著者 (4件)： 山本順二 (横河ソリューションサービス) ,  西村一知 (横河ソリューションサービス) ,  原史朗 (産業技術総合研 ナノエレクトロニクス研究部門) ,  SOMMAWAN Khumpuang (産業技術総合研 ナノエレクトロニクス研究部門)
資料名： 産総研LINK(Web)
号： 11  ページ： 02-07 (WEB ONLY)  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： U0301B  ISSN： 2189-6097  資料種別： ニュースレター (N)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 半導体製造 ,  常識 ,  クリーンルーム ,  ミニマルファブ