文献

J-GLOBAL ID：201702243247449736   整理番号：17A0381677

パルスエコー超音波指紋センサにおける元素間結合効果【Powered by NICT】

Inter-element coupling effects in pulse-echo ultrasonic fingerprint sensors

著者 (8件)： Jiang Xiaoyue (Univeristy of California, Berkeley, CA, USA) ,  Tang Hao-Yen (Univeristy of California, Berkeley, CA, USA) ,  Lu Yipeng (Univeristy of California, Davis, CA, USA) ,  Ng Eldwin J. (Invensense Inc., San Jose, CA, USA) ,  Tsai Julius M. (Invensense Inc., San Jose, CA, USA) ,  Daneman Michael J. (Invensense Inc., San Jose, CA, USA) ,  Boser Bernhard E. (Univeristy of California, Berkeley, CA, USA) ,  Horsley David A. (Univeristy of California, Davis, CA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1192-1195  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微細加工超音波変換器に基づく超音波指紋センサは高分解能イメージングを達成するために非常に微細なピッチを必要とする。CMOSモノリシック共晶接合に基づく110×56pMUTアレイを調べた。高フィルファクタを達成するために,PMUTsは小さな共晶柱を介して固定され,隣接PMUTs間の相互結合の高度になっている。その結果,モード形状は単一MUT動的モデルよりもより複雑であった。全アレイによって示されたモード形状をモデル化して優れていることを有限要素モデルを作成した。レーザDoppler振動計によるモード形状の実験的測定は,体積速度,測定した遠方場圧力に相関することを計算することを可能にする。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ダイナミックモデル ,  超音波変換器 ,  遠方場 ,  *超音波 ,  モデリング ,  相互接続 ,  共晶 ,  微細加工 ,  CMOS
準シソーラス用語： レーザDoppler振動計 ,  FEMモデル ,  振動モード形 ,  フィルファクタ ,  高精細画像 ,  *指紋センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (5件)： パルス ,  エコー ,  超音波 ,  指紋センサ ,  元素