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J-GLOBAL ID：201702245305916967   整理番号：17A0381680

DCバイアス調整による広帯域空気結合PZT圧電微細加工超音波変換器【Powered by NICT】

Wideband air-coupled PZT piezoelectric micromachined ultrasonic transducer through DC bias tuning

著者 (5件)： Kusano Yuri (University of California, Davis, USA) ,  Wang Qi (University of California, Davis, USA) ,  Rudy Ryan Q. (US Army Research Laboratory, USA) ,  Polcawich Ronald G. (US Army Research Laboratory, USA) ,  Horsley David A. (University of California, Davis, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1204-1207  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 空気結合圧電微細加工変換器(PMUT)のための広い帯域幅が高い軸方向分解能を用いたパルスエコー画像における短パルス伝送と受信を達成するために重要である。ここでは,最大5500nm/V高変位感度と空気結合pMUT,20.3kHzの3dB帯域幅,および0.05msの短い伝送時間,dcバイアス同調により達成に関する実験結果を報告した。dcバイアスは,圧電層の分極と固有応力を制御し,リボン状PMUTの二つの近接共鳴モードの周波数を調整する。±5V付近に小直流バイアスを適用して,広帯域短パルス伝送を可能にするときモードはほとんど重複していた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *微細加工 ,  直流 ,  軸方向 ,  *バイアス ,  同調 ,  *超音波変換器 ,  分解能 ,  *広帯域 ,  共鳴 ,  *変換器 ,  画像 ,  *圧電気 ,  周波数 ,  帯域幅
準シソーラス用語： 短パルス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (7件)： DC ,  バイアス ,  広帯域 ,  PZT ,  圧電 ,  微細加工 ,  超音波変換器