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J-GLOBAL ID:201702245443593920   整理番号:17A0730814

高繰返し周波数パルスレーザアブレーションの準真空環境効果【JST・京大機械翻訳】

Effect of Quasi-Vacuum Environment in Ablation with High Repetition Rate Pulsed Laser
著者 (3件):
資料名:
巻: 36  号:ページ: 238-243  発行年: 2009年 
JST資料番号: C5022A  ISSN: 0258-7025  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
抄録/ポイント:
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高繰返し周波数パルスレーザアブレーションの準真空環境効果の存在を説明するために、異なる反復周波数のレーザーパルスによる鋼材料のアブレーション速度と異なる気圧環境におけるアブレーション速度を比較し、準真空環境効果が平均反復率がパルス繰り返し周波数の増加によって著しく増加する主な原因であることを提案した。レーザパルスによって形成される準真空環境を,レーザプラズマの衝撃波が存在するときの準真空環境とレーザプラズマの衝撃波による準真空環境の2つの時間帯に分割し,レーザ場の周囲の環境ガス密度分布と準真空環境の持続時間を計算し,分析した。実験結果により、レーザーパルスの作用後の数百マイクロ秒内に、レーザーパルスの周囲に準真空環境が存在し、後続パルスがこの時間範囲内で材料に使用されると、真空環境でアブレーションされる高熱が発生することが分かった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (4件):
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レーザ照射・損傷  ,  プラズマ中の電磁波  ,  レーザの応用  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
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