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J-GLOBAL ID：201702245690098892   整理番号：17A0233571

ゾル-ゲル法で作製した非ドープとアルミニウムドープナノ酸化亜鉛膜の構造と光学特性に及ぼすアニーリング温度の影響

Influence of Annealing Temperature on Structural and Optical Properties of Undoped and Al-Doped Nano-ZnO Films Prepared by Sol-Gel Method

著者 (6件)： GEVORGYAN Vladimir (Russian-Armenian (Slavonic) Univ., Yerevan, ARM) ,  REYMERS Anna (Russian-Armenian (Slavonic) Univ., Yerevan, ARM) ,  ARZAKANTSYAN Mikayel (EcolePolytechnique, Palaiseau, FRA) ,  LEE Kilbock (Hanyang Univ., Seoul, KOR) ,  AHN Jinho (Hanyang Univ., Seoul, KOR) ,  PARK In-Sung (Hanyang Univ., Seoul, KOR)
資料名： Science of Advanced Materials  (Science of Advanced Materials)
巻： 8  号： 4  ページ： 878-883  発行年： 2016年04月 
JST資料番号： W2374A  ISSN： 1947-2935  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿でプロセス手順がフィルムの品質に影響するかを説明する為に,ゾルーゲル法により合成されたナノ酸化亜鉛膜の構造,モルフォロジーと光学パラメータに及ぼすアニーリング温度の影響を調査した。構造とモルフォロジカルな特性はX線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM)と原子間力顕微鏡(AFM)を用いて調査した。光学特性はフォトルミネセンス(PL)とラマン散乱測定により評価された。

シソーラス用語： *ゾル-ゲル法 ,  *酸化亜鉛 ,  化合物半導体 ,  *半導体薄膜 ,  *熱処理 ,  *温度依存性 ,  *形態 ,  X線回折 ,  走査電子顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  *光ルミネセンス ,  *Raman散乱 ,  ナノ粒子

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  半導体の赤外スペクトル及びRaman散乱・Ramanスペクトル  (BM08066B)

タイトルに関連する用語 (7件)： ゾル-ゲル法 ,  作製 ,  ドープ ,  アルミニウム ,  ナノ酸化亜鉛 ,  光学特性 ,  アニーリング温度