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J-GLOBAL ID：201702245844579062   整理番号：17A0146564

半導体製造における品質管理のための理想的および可能性柔軟性測度【Powered by NICT】

Ideal and potential flexibility measures for qualification management in semiconductor manufacturing

著者 (4件)： Pianne Amelie (Department of Manufacturing Sciences and Logistics, CMP, Ecole des Mines de Saint-Etienne, CNRS UMR 6158 LIMOS, 880 avenue de Mimet, F-13541 Gardanne, FRANCE) ,  Rivero Luis (Department of Manufacturing Sciences and Logistics, CMP, Ecole des Mines de Saint-Etienne, CNRS UMR 6158 LIMOS, 880 avenue de Mimet, F-13541 Gardanne, FRANCE) ,  Dauzere-Peres Stephane (Department of Manufacturing Sciences and Logistics, CMP, Ecole des Mines de Saint-Etienne, CNRS UMR 6158 LIMOS, 880 avenue de Mimet, F-13541 Gardanne, FRANCE) ,  Vialletelle Philippe (Industrial Engineering, STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, F-38926 Crolles, FRANCE)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： WSC  ページ： 2621-2632  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体製造施設では,ワークステーションが異なる製品タイプを処理できることを非同一機械の集合として定義される。生産量に依存して,生成物への機械構成,どのように製品は,機械に割り当てられる,ツールセットに対する特異的作業負荷バランスを得ることができた。WIPと時間柔軟性の尺度は,全ての機械は同じ作業負荷レベルを持つ作業負荷は,理想的な状況と比較してツールセットに分布しているか決定するために提案した。しかし,多くのワークステーションのための,この理想的な状況を配置制限のために到達可能ではない。それ故,本論文では,相補的指標,潜在的柔軟性測度を定義した。工業データに計算機実験により,これらの新しい指標は認定配置の我々の理解を深める方法を示した。ロバスト性因子も作業負荷バランスの品質評価を改善するためのすべての柔軟性測定に使用できることを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ワークステーション ,  ロバスト性 ,  *品質管理 ,  生産量 ,  *柔軟性 ,  負荷分散 ,  *測度 ,  計算機シミュレーション
準シソーラス用語： 品質評価 ,  *半導体製造 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 工程管理  (KB03030P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 半導体製造 ,  品質管理 ,  可能性 ,  測度