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J-GLOBAL ID：201702246409048770   整理番号：17A0364610

CrCuAgN PVDナノ複合材料コーティング:コーティング形態とナノ構造に及ぼす焼なましの影響【Powered by NICT】

CrCuAgN PVD nanocomposite coatings: Effects of annealing on coating morphology and nanostructure

著者 (5件)： Liu Xingguang (Department of Materials Science and Engineering, Sir Robert Hadfield Building, The University of Sheffield, Mappin Street, Sheffield, S1 3JD, UK) ,  Iamvasant Chanon (Department of Materials Science and Engineering, Sir Robert Hadfield Building, The University of Sheffield, Mappin Street, Sheffield, S1 3JD, UK) ,  Liu Chang (Department of Materials Science and Engineering, Sir Robert Hadfield Building, The University of Sheffield, Mappin Street, Sheffield, S1 3JD, UK) ,  Matthews Allan (Pariser Building - B24 ICAM, School of Materials, The University of Manchester, Manchester, M13 9PL, UK) ,  Leyland Adrian (Department of Materials Science and Engineering, Sir Robert Hadfield Building, The University of Sheffield, Mappin Street, Sheffield, S1 3JD, UK)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 392  ページ： 732-746  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CrCuAgN PVDナノ複合材料皮膜をパルスDC非平衡マグネトロンスパッタリングを用いて製造した。本研究では,表面形態,相組成及びこのような被覆のナノ構造に及ぼすアニーリングポストコートの影響に焦点を当てた。窒素含有量が16at.%までの皮膜では,クロムは過飽和固溶体中のNを持つ金属Crとして存在し,300°Cと500°Cはアニーリングを後被覆した。300°Cでのアニーリングは,窒素および窒素含有両方の被覆の相組成を変えなかった;が,500°Cでのアニーリングは,窒素含有被覆の顕著な変換をもたらした。Ag凝集体の形成は(Cu+Ag)/Cr原子比(しきい値約0.2)に関連しており,Cu凝集体の形成は(Cu+Ag+N)/Cr原子比(しきい値約0.5)に関連している。一次焼鈍により誘起された変化はCr中のCu,Ag及びNの溶解度,および組成混合超微細ナノ結晶と部分的に非晶質相組成から変化させる粗いが,大部分がナノ結晶構造に減少した。も,十分なCu含有量(>12at.%)を持つ,適度に高い温度(例えば500°C)でのアニーリングは基板のそれ(半球ダイヤモンド圧子を用いて0.31から0.14に,アルミナ球の相手面,それぞれ0.83~0.40)と比較して50%以上被覆表面,摩擦係数の顕著な低下をもたらしたが,への被覆の内部からのCuとAg(比較的低濃度Agの≦3at.%でさえも)の両方の輸送をもたらすことが分かった。結果は窒素含有クロムへのCuとAg(適切な濃度における)の両方の添加は温度依存固体潤滑要求または抗菌コーティング応用のための「自己補充の銀含有薄膜アーキテクチャ開発のための実行可能な戦略であることを示す。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 温度依存性 ,  アルミナ ,  *銅 ,  相組成 ,  *ナノ構造 ,  *銀 ,  摩擦係数 ,  溶解度 ,  窒素 ,  *焼なまし ,  マグネトロンスパッタリング ,  *ナノ複合材料 ,  ナノ結晶 ,  クロム
準シソーラス用語： 原子比 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ナノ複合材料 ,  PVD被覆 ,  アニーリング ,  輸送 ,  相変態 ,  ナノ構造

分類 (4件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： PVD ,  ナノ複合材料 ,  コーティング ,  形態 ,  ナノ構造 ,  焼なまし