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J-GLOBAL ID：201702246419652311   整理番号：17A0570191

陽極酸化処理により調製されたZnOの透明薄膜

Transparent ZnO Thin Films Prepared by Anodization

著者 (1件)： NAKAMURA Shigeyuki (TSUYAMA COLL.)
資料名： 津山工業高等専門学校紀要  (Bulletin of National Institute of Technology, Tsuyama College)
号： 58  ページ： 87-88  発行年： 2017年03月30日 
JST資料番号： S0919A  ISSN： 0287-7066  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透明導電膜には,様々な半導体材料が利用されているが,金属酸化物系,特に,ZnOに着目した。ZnOの透明薄膜の調製法として蒸着法などがあるが,高価であるなどの問題があった。これを解決するために,ZnOの透明薄膜の安価な調製法について検討した。調製法には,陽極酸化処理法を利用した。陽極酸化処理法の原理を述べ,この性能を検証した。実験では,アノードに1×2cm²の亜鉛板を用いた。NaOHの電解液内で,亜鉛板の陽極酸化処理を行った。室温において得られた薄膜を,XRD法,反射率スペクトル法,XPS法などで評価した。0.1mol%のNaOH,20Vの印加電圧,十分に研磨された亜鉛板において,ZnOの透明薄膜が得られることが分かった。

シソーラス用語： *陽極酸化処理 ,  *透明導電膜 ,  *酸化亜鉛 ,  酸化物 ,  薄膜 ,  透明材料 ,  薄膜成長 ,  アノード ,  半導体材料 ,  亜鉛 ,  水酸化ナトリウム ,  電解液 ,  X線回折 ,  反射スペクトル ,  X線光電子分光法
準シソーラス用語： 酸化物薄膜

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 陽極酸化処理 ,  調製 ,  ZnO ,  薄膜