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J-GLOBAL ID：201702247314375283   整理番号：17A0214192

2.5μm裏面照射画素に及ぼすエアギャップワイヤグリッドを用いた4方向画素偏光CMOSイメージセンサ【Powered by NICT】

Four-directional pixel-wise polarization CMOS image sensor using air-gap wire grid on 2.5-μm back-illuminated pixels

著者 (16件)： Yamazaki Tomohiro (Sony Semiconductor Solutions, Atsugi, Japan) ,  Maruyama Yasushi (Sony Semiconductor Solutions, Atsugi, Japan) ,  Uesaka Yusuke (Sony Semiconductor Solutions, Atsugi, Japan) ,  Nakamura Motoaki (Sony Semiconductor Solutions, Atsugi, Japan) ,  Matoba Yoshihisa (Sony Semiconductor Solutions, Atsugi, Japan) ,  Terada Takashi (Sony Semiconductor Manufacturing, Kumamoto, Japan) ,  Komori Kenta (Sony Semiconductor Manufacturing, Kumamoto, Japan) ,  Ohba Yoshiyuki (Sony Semiconductor Manufacturing, Kumamoto, Japan) ,  Arakawa Shinichi (Sony Semiconductor Manufacturing, Kumamoto, Japan) ,  Hirasawa Yasutaka (Sony, Osaki, Japan) ,  Kondo Yuhi (Sony, Osaki, Japan) ,  Murayama Jun (Sony, Osaki, Japan) ,  Akiyama Kentaro (Sony Semiconductor Solutions, Atsugi, Japan) ,  Oike Yusuke (Sony Semiconductor Solutions, Atsugi, Japan) ,  Sato Shuzo (Sony Semiconductor Solutions, Atsugi, Japan) ,  Ezaki Takayuki (Sony Semiconductor Solutions, Atsugi, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： IEDM  ページ： 8.7.1-8.7.4  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 偏光情報は高機能イメージングに有用である。本論文では,2.5μm裏面照射画素にエアギャップワイヤグリッドを用いた四方向画素偏光CMOSイメージセンサを提示した。作製したエアギャップワイヤグリッド偏光子は63.3%の透過率と550で85nmの消光比を達成し,従来型偏光センサより優れていた。背面照射型イメージセンサのウエハプロセスを用いて作製した画素偏光子は良好な斜め入射特性を示し,2.5μmの小さな分極画素を持つ。提案したイメージセンサは,種々の融合イメージング応用をメガ画素実現,表面反射低減,高精度深さマッピング,および条件ロバスト監視のような。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *センサ ,  *偏光 ,  ロバスト性 ,  *イメージセンサ ,  画像処理 ,  透過率 ,  偏光子 ,  消光比 ,  *画素
準シソーラス用語： 高精度 ,  表面反射 ,  斜め入射 ,  ワイヤグリッド偏光子 ,  *エアギャップ ,  *CMOSイメージセンサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 撮像・録画装置  (ND12032E) ,  光変調器  (BD06020W) ,  光導電素子  (NC03083X)

タイトルに関連する用語 (4件)： 画素 ,  4方向 ,  偏光 ,  CMOSイメージセンサ