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J-GLOBAL ID:201702247666968325   整理番号:17A0544619

透過型走査電子顕微鏡(TSEM)を用いたナノ粒子の水平・垂直サイズ同時計測

Simultaneous measurement of lateral and vertical size of nanoparticles using transmission scanning electron microscopy (TSEM)
著者 (5件):
資料名:
巻: 28  号:ページ: 034002,1-8  発行年: 2017年03月 
JST資料番号: C0354C  ISSN: 0957-0233  CODEN: MSTCEP  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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透過モードで動作する走査電子顕微鏡を用いて,ナノ粒子の水平サイズ・垂直サイズ(厚さ)の同時測定を可能とした。水平サイズは,TSEM像から直接求まる。粒子厚さは,粒子中心でのTSEM信号強度から推定する。粒子厚さと信号強度との関係は,固体中電子散乱を記述するモンテカルロシミュレーションを利用して求めた。その結果,小角・低エネルギー電子散乱モデル化には限界があるものの,ナノ粒子の三次元形態に関する情報を得ることができた。粒径10nm~100nmのシリカ粒子に対して本手法を適用した。
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分類 (2件):
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  ,  顕微鏡法 
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