Zheng Peng について
Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California at Berkeley, Berkeley, CA, USA について
Kim Sang Wan について
Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California at Berkeley, Berkeley, CA, USA について
Connelly Daniel について
Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California at Berkeley, Berkeley, CA, USA について
Kato Kimihiko について
Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California at Berkeley, Berkeley, CA, USA について
Ding Fei について
Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California at Berkeley, Berkeley, CA, USA について
Rubin Leonard について
Axcelis Technologies, Beverly, MA, USA について
Liu Tsu-Jae King について
Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California at Berkeley, Berkeley, CA, USA について
IEEE Transactions on Electron Devices について
分解能 について
自己整合 について
イオン注入 について
モンテカルロ法 について
集積回路 について
パターン形成 について
シミュレーション について
マスキング について
ラインエッジ粗さ について
トランジスタ について
固体デバイス製造技術一般 について
ノード について
スケーリング について
イオン注入 について