文献

J-GLOBAL ID：201702248770115888   整理番号：17A0736318

ダイヤモンド膜電気化学によるLCD上の残留有機物洗浄に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Study on the Electrochemical Cleaning Method for Cleaning Residual Organic Contaminants of LCD

著者 (4件)： Chen Ting (Institute of Microelectronics Technology and Materials, Hebei University of Technology) ,  Liu Yuling (Institute of Microelectronics Technology and Materials, Hebei University of Technology) ,  Wei Heng (Institute of Microelectronics Technology and Materials, Hebei University of Technology) ,  Liang Pu (Institute of Microelectronics Technology and Materials, Hebei University of Technology)
資料名： Bandaoti Jishu  (Bandaoti Jishu)
巻： 34  号： 9  ページ： 837-839  発行年： 2009年 
JST資料番号： C2378A  ISSN： 1003-353X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロニクス技術の発展に伴い、洗浄技術に対する要求もますます厳しくなり、LCDは低消費電力、高画質と軽量などのメリットがあるため、すでに平板ディスプレイ領域の主導技術となっている。ダイヤモンド膜上の残留有機物をダイヤモンド膜電気化学的酸化物を用いて洗浄し,実験により洗浄した酸化物濃度と洗浄時間を測定し,電気化学洗浄により有機汚染を効果的に除去し,一般的洗浄と電気化学洗浄効果を比較した。それは,残留有機物の洗浄のためのより良い方法を提供した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 化学洗浄 ,  マイクロエレクトロニクス ,  フラットパネルディスプレイ ,  *電気化学 ,  酸化物 ,  *有機物
準シソーラス用語： 洗浄効果 ,  化学的酸化 ,  軽量 ,  高画質 ,  低電力化 ,  *ダイヤモンド膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： electrochemical ,  LCD ,  cleaning ,  surface contamination ,  organic contaminants

分類 (1件)： 表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： ダイヤモンド膜 ,  電気化学 ,  LCD ,  残留 ,  有機物 ,  洗浄 ,  研究