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J-GLOBAL ID：201702251273902599   整理番号：17A0381546

非常に柔軟な構造物のインプロセススティクション低減のためのマイクロ係留【Powered by NICT】

Micro-tethering for in-process stiction mitigation of highly compliant structures

著者 (9件)： Flader Ian B. (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Chen Yunhan (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Shin Dongsuk D. (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Heinz David B. (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Ortiz Lizmarie Comenencia (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Alter Anne L. (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Park Woosung (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Goodson Kenneth E. (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Kenny Thomas W. (Stanford University, Stanford, CA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 675-678  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,初めて,示した密閉,ウエハ尺度のカプセル封止プロセス内の非常に柔軟な構造を生成するための製造後技術。製造時における大型自由運動構造を結合することにより,この方法は分離素子製造後選択的にインプロセススティクションを軽減した。本研究におけるテザーを示差共鳴ビーム加速度計(DRBA)に付着しており,二つの方法:Joule加熱とせん断応力による剥離のために設計した。我々の結果は,デバイスが成功裏に両方法により分離した,約100Hz/gから~400Hz/gに増加しデバイス感度によって示すことができることを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 共鳴 ,  *構造物 ,  加速度計 ,  *係留 ,  抵抗加熱 ,  テザー ,  剪断応力

分類 (1件)： 宇宙飛行体  (QK08000Y)

タイトルに関連する用語 (2件)： 構造物 ,  係留