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J-GLOBAL ID：201702251652601615   整理番号：17A0738556

高効率のc-ケイ素太陽電池のための表面不動態化方式の進歩

Advances in Surface Passivation Schemes for High Efficiency c-Silicon Solar Cells

著者 (5件)： BALAJI Nagarajan (Sungkyunkwan Univ., Gyeonggi-do, KOR) ,  PARK Cheolmin (Sungkyunkwan Univ., Gyeonggi-do, KOR) ,  LEE Seunghwan (Sungkyunkwan Univ., Gyeonggi-do, KOR) ,  LEE Youn-Jung (Sungkyunkwan Univ., Gyeonggi-do, KOR) ,  YI Junsin (Sungkyunkwan Univ., Gyeonggi-do, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 16  号： 10  ページ： 10659-10664  発行年： 2016年10月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 結晶性(c-)ケイ素太陽電池の表面不動態化と反射防止被覆の接合について報告した。c-Siウエハの表面を表面粗化を行った後,900~1100°C熱酸化処理と500~700°C焼鈍処理を行った。その後,PECVD法でSiH₄+N₂O+NH₃からSiON_x膜やSiH₄+NH₃からSiN_x膜を製膜し,さらにAl₂O₃で被覆した。これらの太陽電池の性能を調べた結果,SiON_x膜が優れた性能を有しており,19.45%の転換効率と76.6%のFF値を示した。

シソーラス用語： *太陽電池 ,  表面処理 ,  不動態化 ,  窒化ケイ素 ,  反射防止膜 ,  プラズマCVD ,  エネルギー変換効率
準シソーラス用語： *結晶シリコン太陽電池

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高効率 ,  ケイ素 ,  太陽電池 ,  表面不動態化