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J-GLOBAL ID：201702252034473996   整理番号：17A0591550

走査型プローブ顕微鏡法(SPM)による精密なナノ規模測定: 解説

Precise Nanoscale Measurements with Scanning Probe Microscopy (SPM): A Review

著者 (8件)： MA Zongmin (North Univ. China, Taiyuan, CHN) ,  ZHAO Min (North Univ. China, Taiyuan, CHN) ,  QU Zhang (North Univ. China, Taiyuan, CHN) ,  GAO Jian (North Univ. China, Taiyuan, CHN) ,  WANG Fang (North Univ. China, Taiyuan, CHN) ,  SHI Yunbo (North Univ. China, Taiyuan, CHN) ,  QIN Li (North Univ. China, Taiyuan, CHN) ,  LIU Jun (North Univ. China, Taiyuan, CHN)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 17  号： 4  ページ： 2213-2234  発行年： 2017年04月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノテクノロジーにおける機械的,電気的,磁気的,光学的,化学的性質は大きさで決まることがある。しばしば,要素の品質はnmやμm尺度で測定することでのみ評価できる。本論文では,走査型プローブ顕微鏡(SPM)及び関連技術の原理を説明し,SPMを用いたMEMS/NEMS測定における進歩を解説した。内容は以下のとおりである。1.緒言,2.原子間力の測定方法,3.原子間力顕微鏡(AFM)装置の方式,4.干渉測定による検出法,5.片持梁と探針先端,6.SPM,7.ナノ/マイクロ測定における走査力顕微鏡(SFM)の応用,8.結語。

シソーラス用語： *顕微鏡観察 ,  *走査型プローブ顕微鏡 ,  *MEMS ,  原子間力顕微鏡 ,  *干渉測定 ,  片持梁
準シソーラス用語： *NEMS ,  *走査型プローブ顕微鏡法 ,  走査力顕微鏡法 ,  微小片持梁

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 走査型プローブ顕微鏡法 ,  SPM ,  規模