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J-GLOBAL ID：201702253075120020   整理番号：17A0096739

高分辨二次イオン質量分析超高真空容器の開発【JST・京大機械翻訳】

Innovative High Resolution 3DSample Stage in Ultra High Vacuum for SIMS

著者 (5件)： Yang Zhiqing (Beijing SHRIMP Center,Institute of Geology, Chinese Academe of Geological Sciences) ,  Liu Dunyi (Beijing SHRIMP Center,Institute of Geology, Chinese Academe of Geological Sciences) ,  Fang Jianguo (Beijing SHRIMP Center,Institute of Geology, Chinese Academe of Geological Sciences) ,  Steve Clement (Beijing SHRIMP Center,Institute of Geology, Chinese Academe of Geological Sciences) ,  Shan Qin (Beijing SHRIMP Center,Institute of Geology, Chinese Academe of Geological Sciences)
資料名： Zhipu Xuebao  (Zhipu Xuebao)
巻： 37  号： 5  ページ： 408-413  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2754A  ISSN： 1004-2997  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 現在、微束類分析機器の一次イオンビームはますます細かくなり、直径はミクロン級まで達しており、また、真空度も安定した超高真空レベルに達しており、そのため、超高真空環境下での分解能と位置決め精度を向上させる必要がある。新しく開発された試料は、真空チャンバ外部の高精度滑り台により、小型溶接波形管の伸縮転送三次元運動を駆動し、大規模な溶接波形管の表面のガスと大きな大気圧力を受ける問題を解決した。超高真空に適用される材料と固体潤滑,非ダイナミックシールを用いることにより,高真空中の摩擦部品の潤滑問題を解決した。実験データは以下を示す。40MMの移動範囲内で,運動プラットフォームの三軸位置決め再現性は0.94,1.83,0.38ΜMであり,分解能は0.10ΜMであり,1.19×10(-6)PA超真空環境に適用した。外部の高精度滑り台は,真空器の熱と絶縁材料の放出を克服するだけでなく,電子装置と導体の導入も必要とせず,分析器内で電磁干渉を発生せず,装置自体の制限を受けない。これらの特性は二次イオン質量分析計の要求を満たすだけでなく,高分解能,超高真空環境,無汚染の要求を持つ他の分析試験機器にも適用できる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 分解能 ,  電磁干渉 ,  *高真空 ,  絶縁材料 ,  コルゲート管 ,  高分解能 ,  位置決め ,  *真空容器 ,  電子装置 ,  真空度 ,  試験装置 ,  再現性 ,  *超高真空 ,  絶縁体
準シソーラス用語： 高精度 ,  位置決め精度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： secondary ion mass spectrometry(SIMS) ,  3D sample stage ,  ultra high vacuum ,  vacuum motor ,  dry lubrication

分類 (1件)： 潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高 ,  二次イオン質量分析 ,  真空容器 ,  開発