文献

J-GLOBAL ID：201702253545954730   整理番号：17A0369390

SILAR法によるナノ構造ZnO薄膜に基づくNO_2ガスセンサの製作【Powered by NICT】

Fabrication of nanostructured ZnO thin films based NO₂ gas sensor via SILAR technique

著者 (5件)： Patil Vithoba L. (Department of Physics, Karmaveer Hire Arts, Commerce, Science and Education College, Gargoti, 416-009, India) ,  Vanalakar Sharadrao A. (Department of Physics, Karmaveer Hire Arts, Commerce, Science and Education College, Gargoti, 416-009, India) ,  Vanalakar Sharadrao A. (Department of Materials Science and Engineering, Chonnam National University, Gwangju, 500-757, South Korea) ,  Patil Pramod S. (Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur, 416-009, India) ,  Kim Jin H. (Department of Materials Science and Engineering, Chonnam National University, Gwangju, 500-757, South Korea)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 239  ページ： 1185-1193  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化亜鉛(ZnO)薄膜は効果的なガスセンサ要素として広く使用されている。本研究では,ZnOのナノ構造薄膜を単純で経済的な逐次イオン層吸着と反応(SILAR)技術を用いて調製した。ナノ構造ZnO薄膜の構造的,光学的,表面形態および電気的性質に及ぼすSILARサイクルの影響を調べた。XRD,UV-vis,PL,FESEM,Hall測定などの特性化技術を利用して,合成した膜の物理的および化学的性質を研究した。XRDは六方晶相構造ZnO薄膜の形成を確認した。FE-SEM分析は~18 40nmのサイズを持つ良く分散したZnOナノ粒子の形成を明らかにした。SILARサイクルはナノ構造ZnO薄膜の合成に重要な役割を果たす,SILARサイクルが増加すると,粒径は増え続けていることが分かった。光学研究は,合成したZnO薄膜中の酸素空孔の存在を確認した。最後に,ZnO薄膜は100ppb 200ppmの濃度とNO_2ガスに曝露された,その結果生じた過渡抵抗を記録した。30SILARサイクルで合成したナノ構造ZnO薄膜を,ガスセンシング性能の向上を示し,有意に高い応答(~5%/ppm)を示した。ZnO薄膜ガスセンサは非常に低濃度危険NO_2(100ppb)に敏感であった。レベルNO_2検出,単純なSILAR法で合成を追跡するために使用して,高感度なガスセンサは,本研究の新規性を証明した。本報告では,低コストで効率的なガスセンシング応用のためのナノ構造ZnO薄膜の作製に新しい方向を提供した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 高感度 ,  X線回折 ,  酸化亜鉛 ,  粒径 ,  *ナノ構造 ,  *薄膜 ,  キャラクタリゼーション ,  *ガスセンサ ,  ナノ粒子 ,  低濃度 ,  酸素空格子点 ,  電界放出型走査電子顕微鏡 ,  表面形態 ,  *ZnOフィルム ,  *SILAR法

著者キーワード (5件)： SILAR ,  ZnO ,  薄膜 ,  ナノ構造 ,  ガスセンサ

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： SILAR法 ,  ナノ構造 ,  ZnO薄膜 ,  ガスセンサ ,  製作