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J-GLOBAL ID:201702254091259725   整理番号:17A0445499

(0.4≦x≦0.67)アーク蒸着Ti_1 xAl_xN硬質皮膜の相組成と熱安定性【Powered by NICT】

Phase composition and thermal stability of arc evaporated Ti1-xAlxN hard coatings with 0.4≦x≦0.67
著者 (5件):
資料名:
巻: 309  ページ: 687-693  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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この研究では,アーク蒸着したTi_1 xAl_xN硬質皮膜の特性を0.4≦x≦0.67間のAl含有量と 40と 100Vの間のバイアス電圧を変化させて系統的に調べた。0.60以上のAl画分とターゲットから析出した全ての被覆は立方晶とウルツ鉱型相から成る二相構造を示した,立方晶相の形成はより高いバイアス電圧により促進された。Al含有量の増加と共にウルツ鉱相の量の増加のために,室温での硬度と耐摩耗性は著しく減少した。高温では,高Al含有量が有益であることが証明され,Alリッチ酸化物スケールの形成は,摩擦と摩耗速度の低下に起因した。アニーリング処理とそれに続くX線回折は,より高いバイアス電圧で堆積したコーティングの低い熱安定性を示した。中程度のAl含有量を有する被覆はフライス加工試験で最良の性能を示し,ウルツ鉱型相の低い割合の存在にもかかわらず。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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その他の無機化合物の薄膜  ,  金属材料へのセラミック被覆 
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