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J-GLOBAL ID：201702254514273470   整理番号：17A0024922

ウエハステージに基づくボイスコイルモータの全ディジタル駆動【Powered by NICT】

The Full Digital Drive on the Voice Coil Motor Based on the Wafer Stage

著者 (5件)： Liu Jiaxi ,  Pei Le ,  Li Liyi ,  Chen Qiming ,  Pan Donghua
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： VPPC  ページ： 1-6  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ウエハステージ(WS)に基づく音声コイルモータ(VCM)の全ディジタル駆動方法を提案した。,VCMの数学的モードを与え,2レベル駆動における電流リプルを解析した;,電流リップルを減少させるために,3レベル駆動を提唱し,異なる電流状態が得られる,電流リップルを定量的に分析し,電流ループは自由度(2DOF)制御法の二度に基づいて設計した。フィードフォワード制御は2自由度における電流ループ帯域幅を改善するのに使用され,VCM力リプルとハードウェアドリフトを含む誤差は補償される最後に,全ディジタル駆動実験プラットフォームを構築し,方法の実現可能性を,実験とシミュレーションによって検証する。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 制御方式 ,  リプル電流 ,  フィードフォワード制御 ,  *ディジタル方式 ,  電流 ,  帯域幅 ,  *電動機 ,  自由度
準シソーラス用語： *ボイスコイルモータ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： ディジタルフィルタ  (NC04022Z) ,  制御機器一般  (IC02010N) ,  電動機  (NB07030U)

タイトルに関連する用語 (4件)： ウエハ ,  ステージ ,  ボイスコイルモータ ,  ディジタル