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J-GLOBAL ID：201702254517536332   整理番号：17A0381455

MHzレベル超高共振周波数を持つMEMSモノリシック3軸の高衝撃加速度計【Powered by NICT】

MEMS monolithic tri-axis high-shock accelerometers with MHz-level ultra-high resonant frequency

著者 (5件)： Zou Hongshuo (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, 865 Changning Road, Shanghai 200050, China) ,  Chen Fang (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, 865 Changning Road, Shanghai 200050, China) ,  Wang Jiachou (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, 865 Changning Road, Shanghai 200050, China) ,  Bao Haifei (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, 865 Changning Road, Shanghai 200050, China) ,  Li Xinxin (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, 865 Changning Road, Shanghai 200050, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 327-330  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,モノリシックに集積された3軸の高衝撃加速度計のための新しい構造を報告した。すべて三軸センサは超高共振周波数,Z軸加速度計は,その面内X線及びY軸に比べて設計における短い板をより長くないを特徴とする。軸圧縮/伸張微小梁をピエゾ抵抗検出のためのWheatstoneブリッジに接続されている。通常の(111)ウエハにおけるプロセス,軸方向に変形した微小梁で構成された複雑な構造を製造するための本研究で開発した低コスト高収率非SOI製作法。10000gの高衝撃加速下で試験し,三加速度計の各は1 2μV/g感度と約1.5MHzの共振周波数を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *衝撃 ,  延伸 ,  *共振周波数 ,  *加速度計 ,  *MEMS ,  軸方向 ,  センサ ,  X線
準シソーラス用語： Wheatstoneブリッジ ,  圧電抵抗 ,  微小梁 ,  軸圧縮 ,  *三軸 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 共振周波数 ,  MEMS ,  3軸