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J-GLOBAL ID:201702254950909271   整理番号:17A0765922

高純度半絶縁性基板上の4H-SiC MESFETの物理的シミュレーションと実験結果【Powered by NICT】

Physical simulations and experimental results of 4H-SiC MESFETs on high purity semi-insulating substrates
著者 (6件):
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巻: 18  号: 10  ページ: 4474-4478  発行年: 2009年10月 
JST資料番号: W1539A  ISSN: 1674-1056  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,DCおよびRFシミュレーションと高純度半絶縁性基板上の4H-SiC金属-半導体電界効果トランジスタ(MESFET)の実験結果を報告した。DC及び小信号測定をシミュレーションと比較した。デバイスプロセスは,100μmゲート周囲を持ったnチャネルの4H-SiC MESFETを作製するために設計した。30Vドレイン電圧で,最大電流密度は440mA/mmで,最大相互コンダクタンスは33mS/mmである。2GHzの周波数での連続波(CW)では,最大出力密度は6.6mmと測定され,12dBの利得と電力付加効率33.7%であった。カットオフ周波数(f_T)と最大周波数(f(max))は,それぞれ9GHzと24.9GHzである。f_Tとf(max)のシミュレーション結果はそれぞれ11.4GHzと38.6GHzである。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】
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トランジスタ 

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