Tue Phan Trong について
School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, Japan について
Tue Phan Trong について
Japan Science and Technology Agency (JST), CREST, Kawaguchi, Saitama 332-0012, Japan について
Shimoda Tatsuya について
School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, Japan について
Shimoda Tatsuya について
Japan Science and Technology Agency (JST), CREST, Kawaguchi, Saitama 332-0012, Japan について
Takamura Yuzuru について
School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, Japan について
Takamura Yuzuru について
Japan Science and Technology Agency (JST), CREST, Kawaguchi, Saitama 332-0012, Japan について
Ceramics International について
パターン形成 について
金属酸化物 について
ゾル-ゲル法 について
熱安定性 について
ウェットエッチング について
ジルコニウム酸チタン酸鉛 について
強誘電性 について
スピンコーティング について
ミクロパターン形成 について
絶縁破壊電圧 について
リフトオフ について
ポストアニーリング について
ゾル-ゲル について
溶液処理 について
犠牲層 について
PZT膜 について
マイクロパターニング について
リフトオフ について
In-Zn-O金属酸化物 について
酸化物薄膜 について
犠牲層 について
溶液処理 について
金属酸化物 について
リフトオフ について
プロセス について
ゾル-ゲル について
誘導 について
PZT について
薄膜 について
精密 について
パターンニング について