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J-GLOBAL ID:201702255331280487   整理番号:17A0210878

{001}配向ニオブ酸鉛マグネシウム-チタン酸鉛薄膜成長のための鉛含有量の制御

Management of Lead Content for Growth of {001}-Oriented Lead Magnesium Niobate-Lead Titanate Thin Films
著者 (4件):
資料名:
巻: 99  号:ページ: 1144-1146  発行年: 2016年04月 
JST資料番号: C0253A  ISSN: 0002-7820  CODEN: JACTAW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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配向ペロブスカイトのシード層を有さず,ロットゲーリングファクタ0.98~1.0を有するよう設計された{001}配向ニオブ酸鉛マグネシウム-チタン酸鉛(PMN-PT)薄膜のスケーラブルな成長プロセスを提示した。PMN-PTの化学溶液堆積に先立つ{111}Pt薄膜底部電極上への厚さ2~3nmのPbOバッファ層の堆積は,PMN-PTから下部電極へのPb拡散の駆動力を減少させ,{001}配向ペロブスカイト粒子の核生成を促進した。エネルギー分散分光法により,PMN-PT前駆体溶液から,Pb10%までが下部電極中に拡散することが示された。Pb欠乏パイロクロア相のマトリックス中に{101}/{111}混合配向を有するPMN-PT粒子の成長が,界面付近で促進された。これが防止されると,{001}方位相の純粋な膜を得ることができた。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
圧電デバイス  ,  酸化物薄膜 

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