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J-GLOBAL ID：201702255417286265   整理番号：17A0118514

小型LIDAR応用のための超小型くさび状多重角度増幅を用いた2次元共振MEMSスキャナ【Powered by NICT】

A 2D resonant MEMS scanner with an ultra-compact wedge-like multiplied angle amplification for miniature LIDAR application

著者 (4件)： Ye Liangchen (State Key Lab. of Precision Measurement Tech. and Instr., Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing, 100084, P. R. China) ,  Zhang Gaofei (State Key Lab. of Precision Measurement Tech. and Instr., Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing, 100084, P. R. China) ,  You Zhen (State Key Lab. of Precision Measurement Tech. and Instr., Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing, 100084, P. R. China) ,  Zhang Chi (Beijing Institute of Nanoenergy and Nanosystems, Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100084, P. R. China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,小型LIDAR応用のための統合超小型多重角度増幅を用いた二次元共振MEMS走査ミラーを提案した。くさび状構造は,駆動電圧を減少させ,最大応力を減少させ,信頼性と寿命を増加させることができる2D MEMSスキャナの走査角を拡大するために設計した。他角度増幅と比較して,くさびは,複雑な光学レンズや構造のものではなかった。増幅パッケージの高さの1mmのみが拡大角に必要であることを前者よりもよりコンパクトであった。二重走査角増幅実験を行った。12.5Vピークツーピーク(997Hzの周波数で710Hzと5Vの周波数で7.5Vac)の電圧を適用現在2d共鳴MEMSスキャナのための低駆動電圧である大気圧力でy軸におけるx軸における45.3°及び42.6°の光走査をもたらした。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： レンズ ,  *共振 ,  *多重化 ,  *MEMS ,  光走査 ,  周波数 ,  *走査装置 ,  *二次元 ,  電圧 ,  走査 ,  *LIDAR
準シソーラス用語： *レーザレーダ ,  二重走査 ,  最大応力 ,  駆動電圧 ,  *超小型 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (9件)： LIDAR ,  応用 ,  くさび ,  多重 ,  増幅 ,  2次元 ,  共振 ,  MEMS ,  スキャナ