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J-GLOBAL ID:201702255541292371   整理番号:17A0443559

原子層堆積とMWCNTテンプレートを介した中空TiO_2ナノチューブの作製【Powered by NICT】

Fabrication of hollow TiO2 nanotubes through atomic layer deposition and MWCNT templates
著者 (10件):
資料名:
巻: 308  ページ: 249-257  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0730A  ISSN: 0032-5910  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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多層カーボンナノチューブ(MWCNTs)テンプレートを被覆する原子層蒸着(A LD)により合成した酸化チタン(TiO_2)ナノチューブ。厚壁(20nm)TiO_2管はTiO_2A LDと裸のMWCNT表面を直接被覆することによって作製した。薄肉管(10nm)では,TiO_2管の構造安定性を高めるために挿入した非常に薄いAl_2O_3バッファ層。被覆は,高温壁パルス層A LD反応器中で100°Cで行った。トリメチルアルミニウム(TMA)とテトラキス(ジメチルアミノ)チタン(TDMAT),酸素源として金属前駆体と水として用いた。TiO_2管の壁厚はA LDサイクルの数を調整することによって制御され,透過型電子顕微鏡(TEM)像が見られた。被覆と非被覆のMWCNTの化学的特性をXPS及びFTIRにより分析した。テンプレートは800°Cまでの熱酸化により除去され,熱重量分析(TGA)によってモニターし,より厚いTiO_2層はテンプレートの分解温度を見出した。TEMにおけるEDXSラインスキャンは,被覆が親テンプレートの同心構造を保持して優れた壁厚制御を達成しながら確認した。XRD,Raman分光法およびSAEDはTiO_2アナターゼはテンプレート除去後に存在する唯一の結晶相であることを確認した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (3件):
分類
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固体の製造・処理一般  ,  光化学反応  ,  セラミック・陶磁器の製造 

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