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J-GLOBAL ID：201702255731978039   整理番号：17A0205804

TINOSの微細構造と機械的性質に及ぼす窒素流量の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Effect of nitrogen flow on microstructure and mechanical properties of TiN films

著者 (4件)： Zhong Yichang (School of Materials and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology) ,  Ren Xingrun (School of Materials and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology) ,  Huang Zhu (School of Materials and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology) ,  Chen Hao (School of Materials and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology, Engineering Research of Center of High-efficiency Development and Application Technology of Tungsten Resources, Ministry of Education)
資料名： Youse Jinshu Kexue yu Gongcheng  (Youse Jinshu Kexue yu Gongcheng)
巻： 7  号： 3  ページ： 47-53  発行年： 2016年 
JST資料番号： C3154A  ISSN： 1674-9669  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリング法を用いて,ステンレス鋼表面上にTIN薄膜を蒸着し,走査型電子顕微鏡,微小硬さ試験機,走査型電子顕微鏡,X線回折計,往復摩擦計により分析した。膜の形態,組成,構造,硬度,表面粗さ,耐摩耗性に及ぼす窒素流量の影響を研究した。結果により、窒素流量の増加に伴い、薄膜の微小硬さ、膜厚は次第に低下し、膜の結合力は次第に増加し、膜の結合力は16 ML/MINで最大67.2 Nに達した。表面粗さと平均摩擦係数は8ML/MINで最も低かった。窒素流量が増加すると,膜の成長方向は(200)結晶面から(111)面へと成長した。また,TIN膜の色は窒素流量の増加とともに増加し,8ML/分と12ML/分では黄色であり,4ML/分と16ML/分では色差はなかった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 微小硬さ ,  耐摩耗性 ,  ステンレス鋼 ,  色差 ,  試験装置 ,  *窒素 ,  膜厚 ,  薄膜 ,  X線回折計 ,  *流量 ,  摩擦係数 ,  走査電子顕微鏡 ,  硬度 ,  マグネトロンスパッタリング ,  結晶面

著者キーワード (5件)： magnetron sputtering ,  TiN film ,  microstructure ,  microhardness ,  nitrogen flux

分類 (5件)： 機械的性質  (WB02030U) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  気相めっき  (WC08022K) ,  その他の表面処理  (WC08070F) ,  金属の機械的性質  (BL01022T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 微細構造 ,  機械的性質 ,  窒素 ,  流量 ,  研究