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J-GLOBAL ID：201702256279521333   整理番号：17A0077688

炭化ケイ素直接結合に及ぼす表面処理の影響に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Research on Effect of Surface Treatment on SiC Direct Bonding

著者 (7件)： Li Wangwang (North University of China,Education Ministry Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement National Defence Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory) ,  Liang Ting (North University of China,Education Ministry Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement National Defence Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory) ,  Zhang Diya (North University of China,Education Ministry Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement National Defence Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory) ,  Wang Xinxin (North University of China,Education Ministry Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement National Defence Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory) ,  Jia Pinggang (North University of China,Education Ministry Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement National Defence Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory) ,  Zhang Rui (North University of China,Education Ministry Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement National Defence Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory) ,  Wang Taolong (North University of China,Education Ministry Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement National Defence Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory)
資料名： Yibiao Jishu yu Chuanganqi  (Yibiao Jishu yu Chuanganqi)
号： 7  ページ： 12-14,39  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2449A  ISSN： 1002-1841  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： SICの直接結合は高温環境に応用されるMEMSデバイスに対して非常に重要な応用価値があるが、ウエハの表面処理はSICの直接結合に影響する重要な要素である。改良した湿式洗浄法とプラズマ処理を用いて,ウエハ表面を処理した。その結果,直接結合の清浄度と粗さが得られた。最後に,ホットプレス法を用いてSICの直接結合を実現し,そして,その熱伝導率は14.47MPAであると推定した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プラズマ処理 ,  *表面処理 ,  清浄度 ,  ホットプレス ,  MEMS ,  熱伝導率 ,  *炭化ケイ素
準シソーラス用語： 高温環境 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： SiC ,  direct bonding ,  surface treatment ,  hot embossing

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 炭化ケイ素 ,  表面処理 ,  研究