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J-GLOBAL ID：201702256688521827   整理番号：17A0440418

マスフロー千夜一夜物語 第33回〈質量流量計の基礎〉

著者 (1件)： 黒田誠 (EZ-Japan)
資料名： 計測技術  (Instrumentation and Automation)
巻： 45  号： 5  ページ： 46-52  発行年： 2017年04月05日 
JST資料番号： S0852A  ISSN： 0385-9886  CODEN： KEGIDR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本連載の今回は,熱式流量センサーを搭載したマスフローコントローラ(MFC)およびマスフローメータ(MFM)で測定および制御する流体に関し,特に半導体製造プロセスで使用されるガスの中から「特殊高圧ガス」に分類される7種のガスの内,モノシラン(SiH4)を中心に熱式センサータイプのMFC,MFMで使用する際の注意点を解説した。まず,常温の大気に触れることにより発火し,そのリークを止めない限り燃え続けるモノシランが引き起こした事故事例を2例紹介した。次に,このモノシランをMFC,MFMで使う場合の注意事項について触れ,よくあるミスは食い込み継手でメーカーの指導内容をよく読まずに力任せにナットを締め付け,Oリングを傷付けてしまうミスなどを取り上げた。

シソーラス用語： *流量計 ,  半導体プロセス ,  着火 ,  シラン ,  質量流量 ,  質量 ,  制御装置 ,  流量制御
準シソーラス用語： マスフローコントローラ ,  *質量流量計 ,  熱式流量計 ,  流量センサ

分類 (1件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： マスフロー ,  物語 ,  質量流量計 ,  基礎