文献

J-GLOBAL ID：201702260060769421   整理番号：17A0118459

シリコン共鳴加速度計のためのオンチップ熱応力評価法【Powered by NICT】

An on-chip thermal stress evaluation method for silicon resonant accelerometer

著者 (5件)： Xia Guoming (School of Mechanical Engineering, Nanjing University of Science & Technology, Nanjing, China) ,  Shi Qin (School of Mechanical Engineering, Nanjing University of Science & Technology, Nanjing, China) ,  Qiu Anping (School of Mechanical Engineering, Nanjing University of Science & Technology, Nanjing, China) ,  Yu Xuehao (Shanghai Aerospace Control Technology Institute, Shanghai, China) ,  Pei ZhongHai (Shanghai Aerospace Control Technology Institute, Shanghai, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン共鳴加速度計(SRA)のためのオンチップ熱応力を測定する方法を報告した。この方法は,SRAの応力-温度特性を評価するために用いることができ,問題に焦点を合わせることを支援するSRAに存在する。クランプクランプ二重エンド旋削フォーク共振器は基本的な計測装置として使用されている。応力測定における精度と雑音の解析を示した。シリコン共鳴加速度計にこの方法を詳述した。実験は,オンチップ熱応力を正確に測定できることを示し,試験結果は個々のSRAの状態のより明確な見解を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 雑音 ,  フォーク ,  *共鳴 ,  共振器 ,  *加速度計 ,  応力測定 ,  *熱応力 ,  旋削 ,  *ケイ素
準シソーラス用語： 温度特性 ,  *評価法 ,  *オンチップ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： ロボットの運動・制御  (IC04012J)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコン ,  共鳴 ,  加速度計 ,  オンチップ ,  熱応力 ,  評価法