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J-GLOBAL ID：201702260356400544   整理番号：17A0402971

水素プラズマ焼結を用いたフレキシブル基板上にインクジェット印刷した銅導電トラックの完全ち密化【Powered by NICT】

Full densification of inkjet-printed copper conductive tracks on a flexible substrate utilizing a hydrogen plasma sintering

著者 (5件)： Kwon Young-Tae (Department of Fusion Chemical Engineering, Hanyang University, Ansan 15588, South Korea) ,  Lee Young-In (Department of Materials Science and Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, South Korea) ,  Kim Seil (Department of Fusion Chemical Engineering, Hanyang University, Ansan 15588, South Korea) ,  Lee Kun-Jae (Department of Energy Engineering, Dankook University, Cheonan 31116, South Korea) ,  Choa Yong-Ho (Department of Fusion Chemical Engineering, Hanyang University, Ansan 15588, South Korea)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 396  ページ： 1239-1244  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低温焼結法には,柔軟なプリンテッドエレクトロニクスの開発に重要である。本研究では,銅錯体イオンインクを用いたインクジェット印刷パターンの完全還元と緻密化を達成することを新しい水素プラズマ焼結方法を実証した。ポリエチレンテレフタレート(PET)基板上にインクジェット印刷した後,水素プラズマと従来の水素熱処理の両方を用いて,得られた微細構造,電気的性質および抗酸化挙動を比較した。プラズマ処理したパターンは,3.23μΩcmの抵抗率を持つ完全に緻密化し微細構造を示したが,熱処理したパターンは比較的貧弱な微細構造と高い電気抵抗率を示した。添加では,水素プラズマ処理した銅パターンは顕著な低下もなく1か月間その電気抵抗率を保持していた。新しい水素プラズマ焼結法は優れた電気特性を有する導電性パターンを生成するために使用されている高度に信頼性のあるフレキシブルプリントエレクトロニクスを可能にすることができた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 熱処理 ,  *フレキシブル基板 ,  プラズマ処理 ,  導電性 ,  微細構造 ,  *インクジェット印刷 ,  電気抵抗率 ,  銅錯体 ,  *水素 ,  *緻密化 ,  *銅 ,  *放電プラズマ焼結
準シソーラス用語： *水素プラズマ ,  プリンテッドエレクトロニクス ,  低温焼結 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： インクジェット印刷 ,  銅導電性トラック ,  完全ち密化 ,  プラズマ焼結 ,  フレキシブル基板

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 水素 ,  プラズマ焼結 ,  フレキシブル基板 ,  インクジェット印刷 ,  銅 ,  トラック ,  ち密化