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J-GLOBAL ID：201702263687514418   整理番号：17A0274883

光学表面の微細成形法としての有機けい素蒸気レーザ熱分解【Powered by NICT】

Organosilicon vapor laser pyrolysis as the method of fine forming of optical surfaces

著者 (5件)： Dorofeeva E.V. (M.F. Stelmakh ”Polyus” Research Institute, Moscow, Russia) ,  Lobanov P. Yu. (M.F. Stelmakh ”Polyus” Research Institute, Moscow, Russia) ,  Manuylovich I.S. (M.F. Stelmakh ”Polyus” Research Institute, Moscow, Russia) ,  Meshkov M.N. (M.F. Stelmakh ”Polyus” Research Institute, Moscow, Russia) ,  Sidoryuk O.E. (M.F. Stelmakh ”Polyus” Research Institute, Moscow, Russia)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： CAOL  ページ： 88-90  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,ガラスセラミック基板に必要な光学表面マイクロレリーフを得るための技術の創出を行った。オゾンの存在下におけるテトラエトキシシラン蒸気のレーザ熱分解によるSiO_2局所堆積を用いてこの問題の解を示した。実験試料の特性と技術的プロセスの数学的モデリングの結果との比較について述べた。干渉球面鏡のための多層被覆の蒸着のための大きな曲率半径を持つ光学基板の製造用に開発された技術の応用の可能性を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： オゾン ,  *球面鏡 ,  ガラス ,  干渉
準シソーラス用語： 曲率半径 ,  多層コーティング ,  セラミック基板 ,  *光学表面 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (9件)： その他の光学機器  (QF05060C) ,  不均質流  (BC02060J) ,  その他の電気・電子部品  (NA05090R) ,  構造細目,橋梁付帯設備  (RC06070M) ,  導波管,同軸線路  (NC04040N) ,  特殊成形  (WC04040W) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  その他の伝送回路素子  (NC04070U) ,  曲板  (HD03070K)

物質索引 (1件)： テトラエトキシシラン

タイトルに関連する用語 (6件)： 光学表面 ,  微細 ,  成形法 ,  けい素 ,  蒸気 ,  レーザ熱分解