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J-GLOBAL ID：201702263772362162   整理番号：17A0118164

マイクロ針熱流センサ【Powered by NICT】

Microneedle thermal flow sensor

著者 (4件)： Lee Hojoon (Department of Mechanical Engineering, Seoul National University) ,  Baek Sangwoong (Department of Mechanical Engineering, Seoul National University) ,  Jeon Eunyong (Department of Mechanical Engineering, Seoul National University, Seoul, South Korea) ,  Lee Junghoon (Department of Mechanical Engineering, Seoul National University, Seoul, South Korea)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低速液体流を測定するためのマイクロニードル熱流センサを提示した。多くのタイプの液体流量センサが開発されてきたが,それらは特定の閉じた系でのみ流れ測定に限られている。しかし,針状流量センサは,様々な流体の柔軟に対応できる。センサ動作を予測するために,流体,層流,とジュール加熱における熱伝達を含むマルチフィジックスモデリングに基づく熱輸送シミュレーションを行った。測定システムは針状センサ,深堀り反応性イオンエッチング(DRIE)プロセスにより作製した,電圧調整器および増幅器と組み合わせたマイクロプロセッサ制御システムから構成されている。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 制御系 ,  液体流 ,  電圧調整器 ,  層流 ,  *センサ ,  抵抗加熱 ,  計測システム ,  閉ループ系 ,  マイクロプロセッサ ,  RIE【エッチング】 ,  *熱流
準シソーラス用語： 熱輸送 ,  針状 ,  フローセンサ ,  *マイクロニードル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロ針 ,  熱流