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J-GLOBAL ID：201702264213985108   整理番号：17A0118420

光フィードバック干渉測定に基づくマイクロスケール流量測定のための埋込み2D撮像装置【Powered by NICT】

An embedded 2D imager for microscale flowmetry based on optical feedback interferometry

著者 (7件)： da Costa Moreira R. (LAAS-CNRS, Universite ́ de Toulouse, CNRS, INP, F-31400 Toulouse, France) ,  Quotb A. (LAAS-CNRS, Universite ́ de Toulouse, CNRS, INP, F-31400 Toulouse, France) ,  Tronche C. (LAAS-CNRS, Universite ́ de Toulouse, CNRS, INP, F-31400 Toulouse, France) ,  Jayat F. (LAAS-CNRS, Universite ́ de Toulouse, CNRS, INP, F-31400 Toulouse, France) ,  Luna-Arriaga A. (LAAS-CNRS, Universite ́ de Toulouse, CNRS, INP, F-31400 Toulouse, France) ,  Bosch T. (LAAS-CNRS, Universite ́ de Toulouse, CNRS, INP, F-31400 Toulouse, France) ,  Perchoux J. (LAAS-CNRS, Universite ́ de Toulouse, CNRS, INP, F-31400 Toulouse, France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Doppler Fizeau効果によるマイクロスケールでの流体の速度に関する定量的情報を与えることを光フィードバック干渉測定(OFI)検出方式に基づくコンパクトで埋め込まれた撮像装置を示した。このセンサはMEMS2軸ビームステアリング反射鏡を用いた2D走査で5μmまでの空間イメージング分解能に達することができた。撮像装置性能の例として,500μmの円形チャネル流プロファイルを測定した。100μm正方形断面チャネルの画像(300×50ピクセル)は得られた装置を検証することに成功した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： チャネル流 ,  *撮像装置 ,  画素 ,  走査 ,  チャネル ,  センサ ,  画像処理 ,  *流量測定 ,  反射鏡 ,  分解能 ,  *干渉測定
準シソーラス用語： 正方形断面 ,  ビームステアリング ,  *マイクロスケール ,  *光フィードバック , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 流体式制御機器  (IC02030J) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 光フィードバック ,  干渉測定 ,  マイクロスケール ,  流量測定 ,  埋込み ,  2D ,  撮像装置