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J-GLOBAL ID：201702264532315282   整理番号：17A0697642

光干渉法に基づく表面プロフィル測定技術のレビュー【Powered by NICT】

Review of surface profile measurement techniques based on optical interferometry

著者 (4件)： Wang Yunzhi (Optical Science and Technology Laboratory, Department of Physics, School of Science, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, PR China) ,  Xie Fang (Optical Science and Technology Laboratory, Department of Physics, School of Science, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, PR China) ,  Ma Sen (Optical Science and Technology Laboratory, Department of Physics, School of Science, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, PR China) ,  Dong Lianlian (Optical Science and Technology Laboratory, Department of Physics, School of Science, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, PR China)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 93  ページ： 164-170  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 現代の科学技術の急速な発展により,高分解能と大きなダイナミックレンジを有する二または三次元表面形状測定技術が緊急に必要である。それらの中で,光干渉法に基づく方法はメータの定義への非接触,高分解能,大きな動的測定範囲と明確なトレーサビリティ経路の優れた性質のための広く用いられている。光干渉法の表面プロファイル測定技術に焦点を当てたレビューを本論文で導入した動作原理によって分類した詳細な分類であった。各カテゴリーにおける例を更に良く理解するために考察し,解析した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 高分解能 ,  *光干渉法 ,  三次元測定 ,  ダイナミックレンジ ,  科学技術 ,  三次元 ,  トレーサビリティ ,  高速度
準シソーラス用語： 動作原理 ,  動的計測 ,  非接触 ,  表面計測 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (2件)： 表面プロファイル測定 ,  光干渉法

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (3件)： 光干渉法 ,  プロフィル ,  レビュー