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J-GLOBAL ID：201702264726482967   整理番号：17A0381588

液体流と気泡detetectingのための摩擦帯電ベースアクティブセンサ【Powered by NICT】

Triboelectrification based active sensor for liquid flow and bubble detetecting

著者 (9件)： Cheng Xiaoliang (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Miao Liming (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Chen Haotian (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Song Yu (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Su Zongming (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Chen Xuexian (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Wang Huan (School of Electronic and Computer Engineering, Peking University, Shenzhen 518055, China) ,  Zhang Min (School of Electronic and Computer Engineering, Peking University, Shenzhen 518055, China) ,  Zhang Haixia (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 845-848  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,液体と固体界面間の接触帯電の効果に基づく自己出力型液体流と気泡検出センサを提示した。電荷は電力供給なしに外部負荷を横切る流動に対し静電誘導により駆動される。しわパターンを持つ一段階フルオロカーボンプラズマ処理したPDMSは,液体,電気性能を向上させ,電極を保護できると接触した。交差指形電極を用いて液体流方向と速度を検出するために,接地分枝は,気泡を検出できた。簡単な構造,安定性,多機能とスケーラビリティの利点を新たに設計したこのアクティブセンサは,マイクロ流体センサシステムにおける有望な応用を持っている。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電気特性 ,  界面 ,  電力供給 ,  *液体流 ,  接地 ,  静電誘導 ,  *気泡 ,  *センサ ,  プラズマ処理 ,  電荷 ,  センサシステム ,  接触帯電 ,  *摩擦帯電
準シソーラス用語： マイクロ流体 ,  多機能 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 液体流 ,  気泡 ,  摩擦帯電 ,  アクティブセンサ