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J-GLOBAL ID：201702265562486782   整理番号：17A0107829

窒化アルミニウムの真空熱分解反応機構に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Simulation and Calculation of Thermal Decomposition of AlN in Vacuum

著者 (9件)： Wang Jiaju (The National Engineering Laboratory for Vacuum Metallurgy,Kunming University of Science and Technology, Key Laboratory for Nonferrous Vacuum Metallurgy of Yunnan Province, State Key Laboratory Breeding Base of Complex Nonferrous Metal Resources Clear Utilization in Yunnan Province) ,  Lu Yong (The National Engineering Laboratory for Vacuum Metallurgy,Kunming University of Science and Technology, Key Laboratory for Nonferrous Vacuum Metallurgy of Yunnan Province, State Key Laboratory Breeding Base of Complex Nonferrous Metal Resources Clear Utilization in Yunnan Province) ,  Chen Xiumin (The National Engineering Laboratory for Vacuum Metallurgy,Kunming University of Science and Technology, Key Laboratory for Nonferrous Vacuum Metallurgy of Yunnan Province, State Key Laboratory Breeding Base of Complex Nonferrous Metal Resources Clear Utilization in Yunnan Province) ,  Li Gaofeng (The National Engineering Laboratory for Vacuum Metallurgy,Kunming University of Science and Technology, Key Laboratory for Nonferrous Vacuum Metallurgy of Yunnan Province, State Key Laboratory Breeding Base of Complex Nonferrous Metal Resources Clear Utilization in Yunnan Province) ,  Dong Zhaowang (The National Engineering Laboratory for Vacuum Metallurgy,Kunming University of Science and Technology, Key Laboratory for Nonferrous Vacuum Metallurgy of Yunnan Province, State Key Laboratory Breeding Base of Complex Nonferrous Metal Resources Clear Utilization in Yunnan Province) ,  Yu Qingchun (The National Engineering Laboratory for Vacuum Metallurgy,Kunming University of Science and Technology, Key Laboratory for Nonferrous Vacuum Metallurgy of Yunnan Province, State Key Laboratory Breeding Base of Complex Nonferrous Metal Resources Clear Utilization in Yunnan Province) ,  Liu Dachun (The National Engineering Laboratory for Vacuum Metallurgy,Kunming University of Science and Technology, Key Laboratory for Nonferrous Vacuum Metallurgy of Yunnan Province, State Key Laboratory Breeding Base of Complex Nonferrous Metal Resources Clear Utilization in Yunnan Province) ,  Yang Bin (The National Engineering Laboratory for Vacuum Metallurgy,Kunming University of Science and Technology, Key Laboratory for Nonferrous Vacuum Metallurgy of Yunnan Province, State Key Laboratory Breeding Base of Complex Nonferrous Metal Resources Clear Utilization in Yunnan Province) ,  Xu Baoqiang (The National Engineering Laboratory for Vacuum Metallurgy,Kunming University of Science and Technology, Key Laboratory for Nonferrous Vacuum Metallurgy of Yunnan Province, State Key Laboratory Breeding Base of Complex Nonferrous Metal Resources Clear Utilization in Yunnan Province)
資料名： Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao  (Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao)
巻： 36  号： 8  ページ： 929-934  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2159A  ISSN： 1672-7126  CODEN： CKKSDV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 窒化アルミニウムの真空熱分解反応機構を研究するために,この反応を真空条件下で熱力学的に計算し,結果は反応が1960~2360K,60PAの条件で進行することを示した。密度汎関数理論に基づく第一原理平面波擬ポテンシャル法を用いて、1960~2360K、60PAの条件下で窒化アルミニウムの真空熱分解反応に対してそれぞれ5PS動力学シミュレーションを行った。シミュレーションにより得られたALN(1010)の構造,部分密度および差分電荷密度を計算し,解析した。シミュレーション結果は,AL-N結合が部分的に破壊され,表面の第一と第二層間のAL-N結合が最初に破壊され,次に表面におけるAL-N結合が破壊され,ALとAL-AL結合が生成することを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *反応機構 ,  第一原理 ,  平面波 ,  熱力学 ,  擬ポテンシャル法 ,  *窒化アルミニウム ,  シミュレーション ,  密度汎関数法 ,  電荷密度 ,  動力学シミュレーション ,  *真空熱分解

著者キーワード (5件)： AlN ,  Al ,  Thermal decomposition under vacuum ,  Thermodynamics ,  Ab initio molecular dynamics

分類 (3件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  半導体結晶の電子構造  (BM02060N) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 窒化アルミニウム ,  真空熱分解 ,  研究