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J-GLOBAL ID：201702267270395690   整理番号：17A0401897

フェムト秒レーザを用いたマイクロチャネルフライス加工のための予測-補正方式【Powered by NICT】

A prediction-correction scheme for microchannel milling using femtosecond laser

著者 (4件)： Chen Jianxiong (School of Mechanical Engineering and Automation, Fuzhou University, Fuzhou, Fujian, PR China) ,  Zhou Xiaolong (College of Computer Science and Technology, Zhejiang University of Technology, Hangzhou, Zhejiang, PR China) ,  Lin Shuwen (School of Mechanical Engineering and Automation, Fuzhou University, Fuzhou, Fujian, PR China) ,  Tu Yiliu (Department of Mechanical and Manufacturing Engineering, University of Calgary, Calgary, Alberta, Canada)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 91  ページ： 115-123  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,オンライン測定とレーザトリガプラズマの指標を用いたマイクロチャネルのミリング深さを調節するために提案した予測 修正方式。,レーザフルエンスと送り速度に関して,予測モデルは,最小二乗フィッティング法を用いたいくつかのキャリブレーション試験により確立した。を用いて新しく生成した表面の深さ発展を追跡するために対物レンズの焦点位置を変化した。一方,開始と軌道の終わりにZ軸のオフセットを有した全てのミリング層のための走査経路が周期的に変化するプラズマ輝度を駆動するために開発した。,輝度が最大値に達するとミリング深さを得ることができた。そうすることにより,プラズマ輝度の傾向を用いたフライス加工深さを推定するために提示したオンライン測定法。さらに,修正モデルをオンライン推定深さと送り速度を調整する反復的に開発した。マイクロチャネルミリングプロセスは閉ループ方式で監視し,制御することができ,ミリング深さを正確に調整した。最後に,オンライン測定と閉ループマイクロチャネルミリングは自己開発した微細加工中心上で行った。提案した方法の有効性と正確さを推定深さを比較実測結果とにより検証した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 対物レンズ ,  *マイクロチャネル ,  輝度 ,  オフセット ,  *フライス加工 ,  微細加工 ,  予測モデル ,  走査 ,  *レーザ ,  最小二乗法 ,  *フェムト秒レーザ ,  プラズマ
準シソーラス用語： 送り速度 ,  レーザフルエンス ,  オンライン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： マイクロチャネルフライス加工 ,  レーザ誘発されたプラズマ ,  オンライン測定 ,  予測-補正方式

分類 (1件)： レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (4件)： フェムト秒レーザ ,  マイクロチャネル ,  フライス加工 ,  予測