文献

J-GLOBAL ID：201702267407049116   整理番号：17A0832643

V形ビームに基づく二重微分ねじれマイクロ加速度計【Powered by NICT】

A double differential torsional micro-accelerometer based on V-shape beam

著者 (12件)： Xiao Dingbang (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Xiao Dingbang (Laboratory of Science and Technology on Integrated Logistics Support, National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Li Qingsong (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Li Qingsong (Laboratory of Science and Technology on Integrated Logistics Support, National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Hou Zhanqiang (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Hou Zhanqiang (Laboratory of Science and Technology on Integrated Logistics Support, National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Xia Dewei (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Xia Dewei (Laboratory of Science and Technology on Integrated Logistics Support, National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Xu Xiangming (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Xu Xiangming (Laboratory of Science and Technology on Integrated Logistics Support, National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Wu Xuezhong (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, China) ,  Wu Xuezhong (Laboratory of Science and Technology on Integrated Logistics Support, National University of Defense Technology, Changsha, China)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 258  ページ： 182-192  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,V形ビームに基づく二重微分ねじりマイクロ加速度計の設計,シミュレーション,製作および測定を報告した。従来のねじりマイクロ加速度計の構造は典型的には二通りの不均衡なプルーフマスとねじりビームから構成されている。本研究では,最適化された構造,二対に分割四試験質量から構成されているとねじりマイクロ加速度計を開発した。不平衡質量の二対は加速が沖加速度入力と同じ感度と反対の感度を持ち,感度を二重微分演算を用いることにより,環境ロバスト性とバイアス安定性を改善することができる。加速度計プロトタイプは前埋込みマスクウェットエッチング法を用いて作製した,試験した。共振周波数と品質因子は,それぞれ,約1485Hzと28.02であった。測定範囲±15Gの感度と非線形性は,それぞれ0.14mV/gと0.22%であった。x軸とy軸交差軸誤差は,それぞれ0.04%と0.69%であった。加速度計1gのバイアス安定性は,1時間,0.11mgであり,Allan偏差は8.7μgである。 40~°Cの全温度範囲で°Cまで,スケール因子の温度感度は49.9ppm/°Cであるオフセットの温度係数は温度補償後0.22mg/°Cであった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *加速度計 ,  ねじり ,  温度補償 ,  非線形性 ,  *微分 ,  プロトタイプ ,  ロバスト性 ,  オフセット ,  共振周波数 ,  最適化 ,  バイアス ,  温度係数 ,  *加速度 ,  スケール因子
準シソーラス用語： *マイクロ加速度計 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 二重微分 ,  ねじり ,  マイクロ加速度計 ,  V型ビーム

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (5件)： V形 ,  ビーム ,  微分 ,  ねじれ ,  マイクロ加速度計