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J-GLOBAL ID：201702267436198375   整理番号：17A0107824

プラズマの均一性に及ぼす極性と極性の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Influence of Electrode Type and Polarity on Uniformity of Capacitive Coupled Plasma

著者 (3件)： Zhan Zehong (College of Science,Donghua University,The Joint-Laboratory of Nordson-March and College of Science of Donghua University) ,  Guo Ying (College of Science,Donghua University,The Joint-Laboratory of Nordson-March and College of Science of Donghua University) ,  Jack Zhao (College of Science,Donghua University,The Joint-Laboratory of Nordson-March and College of Science of Donghua University)
資料名： Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao  (Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao)
巻： 36  号： 8  ページ： 898-905  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2159A  ISSN： 1672-7126  CODEN： CKKSDV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 本論文では,LANGMUIRプローブ法を用いて,種々の条件の下で,13.56MHZの容量性結合プラズマの均一性に及ぼす円と極性電極(位相差ΔΦ=00とΔΦ=1800)の影響を研究した。一方,プラズマの分布に及ぼす点灯の影響についても言及した。実験結果は以下を示す。Yuan孔刻の極性と極性電極は,点灯の問題を避けることができ,プラズマの均一性を向上させることができる。Yuan孔刻の電子密度の均一性は85.6%から93.7%(パワーは50W)に増加し,63.6%から84.6%に増加した(出力は300W)。逆位相極性電極の電子密度の均一性は90%以上(パワーは50W)と80%以上(パワーは300W)であった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *極性 ,  プローブ ,  *プラズマ ,  電子密度
準シソーラス用語： 位相差 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Langmuir double probe ,  Electrode with blind holes ,  Electrode with phase difference ,  Plasma uniformity ,  Light up issue

分類 (3件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ ,  均一性 ,  極性 ,  研究