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J-GLOBAL ID：201702267600862102   整理番号：17A0118578

標準CMOSにおける酸化物電熱フィルタ【Powered by NICT】

An oxide electrothermal filter in standard CMOS

著者 (6件)： Pedala Lorenzo (Electronic Instrumentation Lab, Delft University of Technology, Delft, The Netherlands) ,  Sonmez Ugur (Electronic Instrumentation Lab, Delft University of Technology, Delft, The Netherlands) ,  Sebastiano Fabio (Electronic Instrumentation Lab, Delft University of Technology, Delft, The Netherlands) ,  Makinwa Kofi A. A. (Electronic Instrumentation Lab, Delft University of Technology, Delft, The Netherlands) ,  Nagaraj Krishnaswamy (Texas Instruments, Dallas, Texas) ,  Park Joonsung (Texas Instruments, Dallas, Texas)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 温度以上の比較的安定した位相シフトのために,酸化物熱経路を用いた電熱フィルタ(ETF)は,オンチップ相参照,例えば熱拡散率(TD)温度センサとして使用した。しかし,これまでの酸化物ETFはSOIプロセス,深みぞ分離を酸化物支配熱経路をつくるために用いられるに限られていた。本論文では,初めて,バルクCMOSプロセスで実現した酸化物ETFを述べた。は 40°Cから125°Cまで0.6%(3σ,トリム)の相拡散を達成しないTD温度センサのための参照として使用した場合,この温度センシングへの変換は±2.7°C(3σ,トリム)の伝播しなかった。これはSOI実装のための報告された拡散よりも1.8倍小さく,CMOS変異体は実現可能のみならず,競争的とした。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 位相シフト ,  *酸化物 ,  トリム ,  *電気加熱 ,  温度伝導率 ,  *フィルタ ,  温度センサ ,  *CMOS
準シソーラス用語： 温度センシング ,  CMOSプロセス ,  オンチップ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 温度測定,温度計  (AD06010K) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 標準 ,  CMOS ,  酸化物 ,  電熱