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J-GLOBAL ID：201702268570581606   整理番号：17A0214371

HVICのためのダイヤモンド状炭素コーティングの輸送特性に及ぼすTCADベース研究【Powered by NICT】

TCAD-based investigation on transport properties of Diamond-like carbon coatings for HV-ICs

著者 (8件)： Reggiani S. (ARCES and DEI, University of Bologna, Bologna, Italy) ,  Giordano C. (ARCES and DEI, University of Bologna, Bologna, Italy) ,  Gnudi A. (ARCES and DEI, University of Bologna, Bologna, Italy) ,  Gnani E. (ARCES and DEI, University of Bologna, Bologna, Italy) ,  Baccarani G. (ARCES and DEI, University of Bologna, Bologna, Italy) ,  Dobrzynska J. (ABB Semiconductors Ltd, Fabrikstrasse 3, Lenzburg, Switzerland) ,  Vobecky J. (ABB Semiconductors Ltd, Fabrikstrasse 3, Lenzburg, Switzerland) ,  Bellini M. (Corporate Research Center, ABB Switzerland, Dattwil, Switzerland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： IEDM  ページ： 36.7.1-36.7.4  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なるバイアスと雰囲気温度でのダイヤモンド状炭素(DLC)膜の最も適切な輸送機構を研究するために提案したTCADベースアプローチ。金属-絶縁体-金属(MIM)デバイスのバンド構造と境界条件から出発して,最も適切なトラップ準位をPoole-Frenkel伝導効果と併せて実験に対して決定した。研究したDLCの親和性は対応する金属-絶縁体-半導体(MIS)ダイオードの実験から抽出した。異なる周波数で測定したC-V曲線で見出されている明確な分極効果。後者は実験と良好な一致をもたらすDebye方程式によるTCADツールでモデル化した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ダイオード ,  バイアス ,  境界条件 ,  *被覆 ,  周波数 ,  親和性 ,  分極 ,  絶縁材料 ,  半導体 ,  モデリング ,  バンド構造 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  絶縁体
準シソーラス用語： 雰囲気温度 ,  *TCAD ,  *輸送特性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイヤモンド状炭素 ,  コーティング ,  輸送特性 ,  TCAD ,  研究