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J-GLOBAL ID：201702269024155653   整理番号：17A0534028

非晶質TI-Bベースコーティングの機械的および耐食性特性を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Corrosion Resistance and Hardness of Amorphous Ti-B Based Coatings

著者 (6件)： Xu Xiangying (Materials Science and Engineering, Shanghai University) ,  Ge Fangfang (Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences) ,  Li Peng (Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences) ,  Shu Rui (Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences) ,  Huang Feng (Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences) ,  Li Moucheng (Materials Science and Engineering, Shanghai University)
資料名： Zhongguo Fushi yu Fanghu Xuebao  (Zhongguo Fushi yu Fanghu Xuebao)
巻： 36  号： 6  ページ： 573-579  発行年： 2016年 
JST資料番号： W0862A  ISSN： 1005-4537  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリング技術を用いて,非晶質ガラス,シリコンウエハ,およびNDFEB合金基板上に非晶質のTI-Bベースコーティングをそれぞれ堆積させた。非晶質TI-Bベースのコーティングは,マグネトロンスパッタリングにおいて一般的柱状結晶構造を除去することができた。被覆の構造,機械的性質および耐食性を,XRD,SEM,,および電気化学的ワークステーションを用いて特性評価した。結果は以下を示す。プロセス制御により,密度がそれぞれ4.04,4.27および4.61G/CM3のTI-Bベースコーティングを得た。得られたTI-Bベース被覆は,均一で緻密な非晶質構造を示し,それは,一般的柱状結晶構造を除去した。非晶質TI-B基材の機械的性質と耐食性は,その密度と密接に関連していた。密度が%%増加すると,硅片基被覆の硬度は%%増加し,NDFEB基板の腐食電流密度は66.67%減少した。密度が4.61G/CM3のとき,SI被覆の硬度と塑性指数はそれぞれ30.1GPAと0.48であった。3.5%(質量分率)のNACL溶液中では,腐食電流密度は1.34×10(-6)A/CM2であり,腐食電流密度の約1/8であった。腐食電位は-0.689Vであり,基材のそれよりも0.220Vであった。これらの結果は,この非晶質コーティングが,NDFEB基材に対して良好な耐食性を持つことを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プロセス制御 ,  結晶構造 ,  電気化学 ,  マグネトロンスパッタリング ,  被覆 ,  硬度 ,  *非晶質 ,  腐食電位 ,  キャラクタリゼーション ,  腐食電流 ,  X線回折 ,  *耐食性
準シソーラス用語： 質量分率 ,  非晶質構造 ,  シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： amorphous coating ,  metal substrate ,  hardness ,  corrosion resistance

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 非晶質 ,  ベースコーティング ,  耐食性 ,  研究