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J-GLOBAL ID：201702271349382610   整理番号：17A0759392

粉末ターゲットを用いたTiO_2薄膜の光電気特性,RFマグネトロンスパッタリングにより堆積した調査【Powered by NICT】

Investigation into the optoelectrical properties of TiO₂ thin films, deposited by RF magnetron sputtering using powder target

著者 (4件)： Ben Jemaa I. (Universite Tunis El Manar, Ecole Nationale d’Ingenieurs de Tunis, Laboratoire de Photovoltaieque et Materiaux Semi-conducteurs, 1002 Tunis, Tunisia) ,  Ben Jemaa I. (Universite de Carthage, Faculte des Sciences de Bizerte, Departement de Physique, 7021 Zarzouna Bizerte, Tunisia) ,  Chaabouni F. (Universite Tunis El Manar, Ecole Nationale d’Ingenieurs de Tunis, Laboratoire de Photovoltaieque et Materiaux Semi-conducteurs, 1002 Tunis, Tunisia) ,  Abaab M. (Universite Tunis El Manar, Ecole Nationale d’Ingenieurs de Tunis, Laboratoire de Photovoltaieque et Materiaux Semi-conducteurs, 1002 Tunis, Tunisia)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 214  号： 2  ページ： ROMBUNNO.201600426  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiO_2薄膜を種々の堆積時間およびアルゴン流で堆積した,ラジオ周波数(RF)マグネトロンスパッタリング法によりガラス基板上に,粉末ターゲットを用いた。X線回折解析は,堆積時間の増加はルチル相の形成で堆積した膜の結晶性の改善をもたらすことを示した。ルチル相が異なるアルゴン流で作製した試料に対して維持された。全ての試料の光透過率は可視領域で75%より高いことが分かった。バンドギャップ値のわずかな減少が研究したすべての薄膜で観察された。電気伝導率と伝導機構は,インピーダンス分光法を用いて調べた。角周波数とDC伝導率から計算した活性化エネルギー値は良く一致し,伝導機構は,局在状態間のホッピングによる熱的に活性化されることを示した。さらに,AC伝導率の周波数依存性と温度依存性の研究は相関障壁ホッピングモデルと一致した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ホッピング伝導 ,  電気伝導率 ,  X線回折 ,  *粉体 ,  活性化エネルギー ,  周波数 ,  周波数依存性 ,  ルチル ,  *薄膜 ,  局在状態 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  温度依存性 ,  透過率
準シソーラス用語： 伝導率 ,  伝導機構 ,  光透過率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 電気的性質 ,  光学定数 ,  粉末ターゲット ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  TiO2薄膜

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 粉末 ,  ターゲット ,  薄膜 ,  電気特性 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  堆積 ,  調査