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J-GLOBAL ID：201702271690917763   整理番号：17A0855042

高感度層としてのグラフェン酸化物を用いた石英結晶微量天秤をベースとした湿度センサ【Powered by NICT】

A humidity sensor based on quartz crystal microbalance using graphene oxide as a sensitive layer

著者 (12件)： Jin Hao (College of Information Science & Electronic Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) ,  Tao Xiang (College of Information Science & Electronic Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) ,  Feng Bin (College of Information Science & Electronic Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) ,  Feng Bin (Zhejiang University Kunshan Innovation Institute, Kunshan 215300, China) ,  Feng Bin (Suzhou Advanced Vacuum Electronic Equipment Co., Ltd., Kunshan 215300, China) ,  Yu Liyang (Key Laboratory of RF Circuit & System, Ministry of Education, Hangzhou Dianzi University, Hangzhou 310018, China) ,  Wang Demiao (College of Information Science & Electronic Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) ,  Wang Demiao (Zhejiang University Kunshan Innovation Institute, Kunshan 215300, China) ,  Wang Demiao (Suzhou Advanced Vacuum Electronic Equipment Co., Ltd., Kunshan 215300, China) ,  Dong Shurong (College of Information Science & Electronic Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) ,  Luo Jikui (Institute of Renewable Energy and Environmental Technologies, Bolton University, Bolton BL3 5AB, UK) ,  Luo Jikui (Key Laboratory of RF Circuit & System, Ministry of Education, Hangzhou Dianzi University, Hangzhou 310018, China)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 140  ページ： 101-105  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 湿度である人間の生産品質管理,エレクトロニクスの信頼性,および健康に非常に重要な重要な物理量である。感受性層として酸化グラフェンを用いた水晶微量天秤(QCM)に基づく湿度センサを提案し,品質因子(Q因子)のシフトだけでなく種々の相対湿度(RH)での共鳴周波数に応じてセンサの特性を調べた。結果は低RH値で,Q値のシフトは,センサの感度を評価するための共振周波数のシフトよりも適していることを示した。両周波数とQ因子を組み合わせたシフトにより,良好な直線性と10 60%RH(Q因子)および1068 70%RHでHz/10%RH(周波数)で~1371/1%RHの感度を得る,を報告したQCM湿度センサよりもはるかに優れていた。QCM湿度センサは,二十三秒未満の応答時間と回復時間を持つ良好な再現性を示した。センサのこれらの優れた特性は,大きな表面積とグラフェン酸化物の高い親水性に起因し,将来の応用のための良好な可能性を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *湿度センサ ,  共振周波数 ,  信頼性 ,  *高感度 ,  応答時間 ,  Q値 ,  *湿度 ,  *センサ ,  品質管理 ,  再現性 ,  相対湿度 ,  電子技術 ,  線形性
準シソーラス用語： *水晶微量天秤 ,  *酸化グラフェン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 水晶微量天秤 ,  酸化グラフェン ,  湿度センサ ,  共振周波数 ,  Q因子

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高感度 ,  グラフェン酸化物 ,  石英結晶微量天秤 ,  湿度センサ